[发明专利]半导体器件检测设备中减少定位点数量的方法有效
| 申请号： | 201910307999.7 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN110007207B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 张军辉;张文亮;朱阳军 | 申请（专利权）人： | 山东阅芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/01;G01R1/04 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 韩凤 |
| 地址： | 264315 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体器件检测设备中减少定位点数量的方法，其在载盘夹爪的下方设置位置检测传感器，在需对载盘组上载盘进行夹取时，在得到原点信息后，检测控制系统控制载盘组支撑升降驱动机构驱动载盘组上升Na距离，检测控制系统控制载盘夹爪从释放位运到抓紧位；载盘夹爪夹取相应的载盘后，检测控制系统控制载盘组支撑升降驱动机构驱动载盘组下降距离(N‑1)a，以使得当前载盘组内最上层载盘位于载盘夹爪下方的Na处，以便根据上述在原点位置的定位方式进行后续所需的载盘夹取控制。本发明能简化定位过程，提高载盘夹取中的定位精度，确保载盘夹取中的稳定性与可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件 检测 设备 减少 定位 数量 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体器件检测设备中减少定位点数量的方法，包括能支撑载盘组并能驱动载盘组升降的载盘组支撑升降驱动机构，在所述载盘组支撑升降驱动机构的上方设置用于夹取载盘组内载盘(7)的载盘夹爪(6)；其特征是，在载盘夹爪(6)的下方设置用于检测载盘组内最上层载盘(7)位置的位置检测传感器(3)，所述位置检测传感器(3)与载盘组内最上层载盘(7)上侧表面对应时，载盘夹爪(6)与载盘组内最上层载盘(7)下侧表面的距离为Na，其中，a为载盘组内相邻两层载盘(7)之间的层间距，N为大于等于2的正整数；所述位置检测传感器(3)还与能控制载盘组支撑升降驱动机构、载盘夹爪(6)工作状态的检测控制系统电连接，所述检测控制系统将位置检测传感器(3)所检测的位置信号设定为原点信息；在需对载盘组上载盘(7)进行夹取时，检测控制系统控制载盘组支撑升降驱动机构驱动载盘组下降至最低位置，并将载盘组从最低位置向载盘夹爪(6)的方向运动直至位置检测传感器(3)向检测控制系统传输检测的原点信息；在得到原点信息后，检测控制系统控制载盘组支撑升降驱动机构驱动载盘组上升Na距离，载盘组上升至所需的位置后，检测控制系统控制载盘夹爪(6)从释放位运到抓紧位，以实现对载盘组内最上层载盘(7)的夹取；载盘夹爪(6)夹取相应的载盘(7)后，检测控制系统控制载盘组支撑升降驱动机构驱动载盘组下降距离(N‑1)a，以使得当前载盘组内最上层载盘(7)位于载盘夹爪(6)下方的Na处，以便根据上述在原点位置的定位控制方式进行后续所需的载盘(7)夹取控制。
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