[发明专利]半导体器件检测设备中减少定位点数量的方法

权利要求书

1.一种半导体器件检测设备中减少定位点数量的方法，包括能支撑载盘组并能驱动载盘组升降的载盘组支撑升降驱动机构，在所述载盘组支撑升降驱动机构的上方设置用于夹取载盘组内载盘(7)的载盘夹爪(6)；其特征是，

在载盘夹爪(6)的下方设置用于检测载盘组内最上层载盘(7)位置的位置检测传感器(3)，所述位置检测传感器(3)与载盘组内最上层载盘(7)上侧表面对应时，载盘夹爪(6)与载盘组内最上层载盘(7)下侧表面的距离为Na，其中，a为载盘组内相邻两层载盘(7)之间的层间距，N为大于等于2的正整数；

所述位置检测传感器(3)还与能控制载盘组支撑升降驱动机构、载盘夹爪(6)工作状态的检测控制系统电连接，所述检测控制系统将位置检测传感器(3)所检测的位置信号设定为原点信息；

在需对载盘组上载盘(7)进行夹取时，检测控制系统控制载盘组支撑升降驱动机构驱动载盘组下降至最低位置，并将载盘组从最低位置向载盘夹爪(6)的方向运动直至位置检测传感器(3)向检测控制系统传输检测的原点信息；

在得到原点信息后，检测控制系统控制载盘组支撑升降驱动机构驱动载盘组上升Na距离，载盘组上升至所需的位置后，检测控制系统控制载盘夹爪(6)从释放位运到抓紧位，以实现对载盘组内最上层载盘(7)的夹取；

载盘夹爪(6)夹取相应的载盘(7)后，检测控制系统控制载盘组支撑升降驱动机构驱动载盘组下降距离(N-1)a，以使得当前载盘组内最上层载盘(7)位于载盘夹爪(6)下方的Na处，以便根据上述在原点信息对应位置的定位控制方式进行后续所需的载盘(7)夹取控制。

2.根据权利要求1所述的半导体器件检测设备中减少定位点数量的方法，其特征是：所述载盘组支撑升降驱动机构包括电缸(1)以及与所述电缸(1)适配连接的载盘台(2)，在所述载盘台(2)上的外圈设置载盘组定位槽(10)，载盘组通过载盘组定位槽(10)能置于载盘台(2)上。

3.根据权利要求2所述的半导体器件检测设备中减少定位点数量的方法，其特征是：所述载盘(7)的下侧表面的外圈设置定位支撑柱(8)，在载盘(7)的上侧表面外圈设置支撑柱卡槽(5)，所述支撑柱卡槽(5)与定位支撑柱(8)正对应；对于两相邻的载盘(7)，位于上方载盘(7)的定位支撑柱(8)能嵌置于位于下方载盘(7)的支撑柱卡槽(5)内；

载盘组内位于最下方载盘(7)的定位支撑柱(8)能嵌置于载盘台(2)的载盘组定位槽(10)内，在载盘(7)的上表面内设置若干用于待检测物料(4)嵌置的物料卡槽(9)。

4.根据权利要求3所述的半导体器件检测设备中减少定位点数量的方法，其特征是：所述待检测物料(4)包括功率半导体器件。