[发明专利]一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备

摘要

本发明涉及一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，包括主体、摄像头和两个照明灯，所述主体的形状为圆柱形，所述主体竖向设置，所述摄像头和照明灯均设置在主体内的顶部，所述摄像头位于两个照明灯之间，所述主体内设有控制机构和辅助机构，所述控制机构设置在主体内的底部，所述辅助机构设置在主体内的顶部，所述控制机构包括移动盘、支撑盘、两个气缸和至少四个控制组件，该用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备通过控制机构实现了调整晶圆位置的功能，避免晶圆位置偏差较大而需要多次调整晶圆位置，不仅如此，还通过辅助机构减小了环境光线和灰尘对检测精确度的影响，提高了抗干扰能力。

主权项

1.一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，包括主体(1)、摄像头(2)和两个照明灯(3)，所述主体(1)的形状为圆柱形，所述主体(1)竖向设置，所述摄像头(2)和照明灯(3)均设置在主体(1)内的顶部，所述摄像头(2)位于两个照明灯(3)之间，其特征在于，所述主体(1)内设有控制机构和辅助机构，所述控制机构设置在主体(1)内的底部，所述辅助机构设置在主体(1)内的顶部；所述控制机构包括移动盘(4)、支撑盘(5)、两个气缸(6)和至少四个控制组件，所述移动盘(4)与主体(1)同轴设置，所述气缸(6)固定在主体(1)内的底部，所述气缸(6)与移动盘(4)的远离摄像头(2)的一侧连接，所述气缸(6)驱动移动盘(4)沿着主体(1)的轴向移动，所述支撑盘(5)设置在移动盘(4)和摄像头(2)之间，所述支撑盘(5)与移动盘(4)同轴设置，所述支撑盘(5)与移动盘(4)固定连接，所述支撑盘(5)与移动盘(4)之间设有间隙，所述控制组件以支撑盘(5)的轴线为中心周向均匀设置在支撑盘(5)的外周，所述控制组件位于移动盘(4)的靠近支撑盘(5)的一侧；所述辅助机构包括固定管(7)和两个除尘组件，所述固定管(7)与主体(1)同轴设置，所述固定管(7)与主体(1)内的顶部密封且固定连接，所述固定管(7)与主体(1)顶部的最大距离大于支撑盘(5)与主体(1)顶部之间的最小距离，所述固定管(7)的外径与移动盘(4)的直径相等，所述摄像头(2)和照明灯(3)均设置在固定管(7)内，两个防尘组件与照明灯(3)一一对应，所述防尘组件设置在固定管(7)上；所述防尘组件包括气管(8)和抽吸泵(9)，所述气管(8)与固定管(7)连通，所述气管(8)安装在抽吸泵(9)上，所述抽吸泵(9)固定在固定管(7)上。