[发明专利]一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备

权利要求书

1.一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，包括主体(1)、摄像头(2)和两个照明灯(3)，所述主体(1)的形状为圆柱形，所述主体(1)竖向设置，所述摄像头(2)和照明灯(3)均设置在主体(1)内的顶部，所述摄像头(2)位于两个照明灯(3)之间，其特征在于，所述主体(1)内设有控制机构和辅助机构，所述控制机构设置在主体(1)内的底部，所述辅助机构设置在主体(1)内的顶部；

所述控制机构包括移动盘(4)、支撑盘(5)、两个气缸(6)和至少四个控制组件，所述移动盘(4)与主体(1)同轴设置，所述气缸(6)固定在主体(1)内的底部，所述气缸(6)与移动盘(4)的远离摄像头(2)的一侧连接，所述气缸(6)驱动移动盘(4)沿着主体(1)的轴向移动，所述支撑盘(5)设置在移动盘(4)和摄像头(2)之间，所述支撑盘(5)与移动盘(4)同轴设置，所述支撑盘(5)与移动盘(4)固定连接，所述支撑盘(5)与移动盘(4)之间设有间隙，所述控制组件以支撑盘(5)的轴线为中心周向均匀设置在支撑盘(5)的外周，所述控制组件位于移动盘(4)的靠近支撑盘(5)的一侧；

所述辅助机构包括固定管(7)和两个除尘组件，所述固定管(7)与主体(1)同轴设置，所述固定管(7)与主体(1)内的顶部密封且固定连接，所述固定管(7)与主体(1)顶部的最大距离大于支撑盘(5)与主体(1)顶部之间的最小距离，所述固定管(7)的外径与移动盘(4)的直径相等，所述摄像头(2)和照明灯(3)均设置在固定管(7)内，两个防尘组件与照明灯(3)一一对应，所述防尘组件设置在固定管(7)上；

所述防尘组件包括气管(8)和抽吸泵(9)，所述气管(8)与固定管(7)连通，所述气管(8)安装在抽吸泵(9)上，所述抽吸泵(9)固定在固定管(7)上。

2.如权利要求1所述的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，其特征在于，所述控制组件包括移动单元和控制单元，所述移动单元包括驱动电机(10)、丝杆(11)、轴承座(12)、滑块(13)和连接杆(14)，所述丝杆(11)的轴线与主体(1)的轴线垂直且相交，所述驱动电机(10)与丝杆(11)的靠近主体(1)轴线的一端传动连接，所述轴承座(12)安装在丝杆(11)的另一端，所述驱动电机(10)和轴承座(12)均固定在移动盘(4)上，所述滑块(13)套设在丝杆(11)上，所述滑块(13)的与丝杆(11)的连接处设有与丝杆(11)匹配的螺纹，所述滑块(13)与移动盘(4)的靠近支撑盘(5)的一侧贴合，所述连接杆(14)固定在滑块(13)的另一侧，所述连接杆(14)与主体(1)的轴线平行，所述控制单元设置在连接杆(14)的靠近主体(1)轴线的一侧。

3.如权利要求1所述的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，其特征在于，所述丝杆(11)上涂有润滑油。

4.如权利要求2所述的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，其特征在于，所述控制单元包括连接管(15)、挤压板(16)、弹簧(17)、限位块(18)、连杆(19)和推板(20)，所述连接管(15)与丝杆(11)平行，所述连接管(15)与连接杆(14)密封且固定连接，所述挤压板(16)、弹簧(17)和限位块(18)均设置在连接管(15)内，所述挤压板(16)与连接管(15)的轴线垂直，所述挤压板(16)与连接管(15)的内壁滑动且密封连接，所述弹簧(17)位于挤压板(16)和连接杆(14)之间，所述挤压板(16)通过弹簧(17)与连接杆(14)连接，所述限位块(18)设置在挤压板(16)的远离连接杆(14)的一侧，所述限位块(18)固定在连接管(15)的内壁上，所述限位块(18)与挤压板(16)抵靠，所述连杆(19)与连接管(15)同轴设置，所述连杆(19)的直径小于连接管(15)的内径，所述推板(20)与连杆(19)垂直，所述连接管(15)位于连接杆(14)和推板(20)之间，所述连杆(19)位于推板(20)和挤压板(16)之间，所述推板(20)通过连杆(19)与挤压板(16)固定连接，所述推板(20)的靠近移动盘(4)的一侧与支撑盘(5)的远离移动盘(4)的一侧处于同一平面。