[发明专利]用于沉积含硅膜的有机氨基官能化环状低聚硅氧烷有效
| 申请号： | 201910290443.1 | 申请日： | 2019-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN110357920B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | M·R·麦克唐纳;雷新建;萧满超;王美良 | 申请（专利权）人： | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
| 主分类号： | C07F7/21 | 分类号： | C07F7/21;C23C16/30;C23C16/40;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华;徐志明 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了有机氨基官能化环状低聚硅氧烷，其具有至少两个硅和两个氧原子以及有机氨基，且公开了用于制备所述有机氨基官能化环状低聚硅氧烷的方法。还公开了使用所述有机氨基官能化环状低聚硅氧烷沉积含硅和氧的膜的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 含硅膜 有机 氨基 官能 环状 低聚硅氧烷 | ||
【主权项】：
1.一种组合物，其包含选自式A和B的至少一种有机氨基官能化环状低聚硅氧烷化合物：![]()
其中(i)R1选自C3‑C10环烷基和C3‑C10芳基，R2选自氢和C1‑C4烷基，并且R3‑R9各自独立地选自氢和C1‑C4烷基；或(ii)R1和R2连接以形成C3‑C10杂环结构或C3‑C10杂环芳基结构，其任一者可被一个、两个或更多个甲基取代，并且R3‑R9各自独立地选自氢和C1‑C4烷基。
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