[发明专利]微机电系统装置在审
| 申请号： | 201910279019.7 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN110872098A | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 杨辰雄;郑钧文;朱家骅;陈恩湛 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 龚诗靖 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及微机电系统装置。一种微机电系统装置包含：第一层及第二层，其包含相同材料；第三层，其放置于所述第一层与所述第二层之间；第一气隙，其分隔开所述第一层与所述第三层；第二气隙，其分隔开所述第二层与所述第三层；多个第一柱，所述多个第一柱暴露于所述第一气隙且被布置成与所述第一层及所述第三层接触；多个第二柱，所述多个第二柱暴露于所述第二气隙且被布置成与所述第二层及所述第三层接触。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 装置 | ||
【主权项】：
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