[发明专利]转台相交度和垂直度测量装置与方法在审
| 申请号： | 201910276846.0 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN110057323A | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 李艳红;柴娟芳;赵吕懿;朱炜;陈强华;荆娜;沈涛;张琰;冯晓晨;田义;杨扬 | 申请（专利权）人： | 上海机电工程研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01C25/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 庄文莉 |
| 地址： | 201100 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种转台相交度和垂直度测量装置与方法，所述转台相交度和垂直度测量方法包含以下步骤：分光步骤：将双频总光线分光成多路双频子光线；干涉光路形成步骤：使用双频子光线对转台进行测量，获得参考光与测量干涉光路；转台检测步骤：根据参考光与测量干涉光路的相位差，得到位移测量信号，根据多个测量干涉光路对应的位移测量信号，得到转台的相交度和/或垂直度。本发明使用一个公共靶标，大大优化了多轴转台的测量过程，且靶标的安装与拆卸不需拆卸转台本身。 | ||
| 搜索关键词： | 转台 干涉光路 相交 测量 双频 垂直度测量装置 位移测量信号 参考光 分光 拆卸 垂直度测量 测量过程 垂直度 相位差 靶标 多路 多轴 检测 优化 | ||
【主权项】：
1.一种转台相交度和垂直度测量方法，其特征在于，包含以下步骤：分光步骤：将双频总光线(610)分光成多路双频子光线(620)；干涉光路形成步骤：使用双频子光线(620)对转台(520)进行测量，获得参考光(630)与测量干涉光路(650)；转台(520)检测步骤：根据参考光(630)与测量干涉光路(650)的相位差，得到位移测量信号，根据多个测量干涉光路(650)对应的位移测量信号，得到转台(520)的相交度和/或垂直度。
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