[发明专利]一种柔性传感器及其制备方法和可穿戴智能设备在审
| 申请号： | 201910274810.9 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN110132315A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 董瑛;楚尧;刘慧梁;韩留洋;王晓浩 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 唐致明 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性传感器及其制备方法和可穿戴智能设备，该柔性传感器的制备方法通过分别对柔性基底和驻极体薄膜进行表面改性处理后再进行贴合，可使经表面改性处理后柔性基底和驻极体薄膜实现稳定的键合，以利于保证产品柔性传感器性能的稳定，提高灵敏度和准确度，且整个制备工艺简单，成本低廉，易于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性传感器 制备 表面改性处理 驻极体薄膜 柔性基底 智能设备 可穿戴 准确度 产品柔性 制备工艺 灵敏度 传感器 键合 贴合 保证 | ||
【主权项】：
1.一种柔性传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、分别取或制备柔性基底和驻极体薄膜；S2、对所述柔性基底和所述驻极体薄膜进行表面改性处理，包括：对所述柔性基底的两表面和所述驻极体薄膜的至少一表面进行等离子体处理；再对柔性基底进行硅烷偶联剂浸泡处理，或者，对驻极体薄膜上至少经等离子体处理的表面进行硅烷偶联剂浸泡处理；S3、在所述柔性基底的两表面分别贴合设置所述驻极体薄膜，所述驻极体薄膜上经表面改性处理的表面与所述柔性基底的表面键合。
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