[发明专利]一种柔性传感器及其制备方法和可穿戴智能设备在审
| 申请号： | 201910274810.9 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN110132315A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 董瑛;楚尧;刘慧梁;韩留洋;王晓浩 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 唐致明 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性传感器 制备 表面改性处理 驻极体薄膜 柔性基底 智能设备 可穿戴 准确度 产品柔性 制备工艺 灵敏度 传感器 键合 贴合 保证 | ||
1.一种柔性传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、分别取或制备柔性基底和驻极体薄膜；
S2、对所述柔性基底和所述驻极体薄膜进行表面改性处理，包括：对所述柔性基底的两表面和所述驻极体薄膜的至少一表面进行等离子体处理；再对柔性基底进行硅烷偶联剂浸泡处理，或者，对驻极体薄膜上至少经等离子体处理的表面进行硅烷偶联剂浸泡处理；
S3、在所述柔性基底的两表面分别贴合设置所述驻极体薄膜，所述驻极体薄膜上经表面改性处理的表面与所述柔性基底的表面键合。
2.根据权利要求1所述的柔性传感器的制备方法，其特征在于，步骤S2中，所述等离子体处理为真空氧等离子体处理。
3.根据权利要求2所述的柔性传感器的制备方法，其特征在于，所述真空氧等离子体处理的功率为100～200W。
4.根据权利要求1所述的柔性传感器的制备方法，其特征在于，步骤S2中，所述硅烷偶联剂选自氨丙基三乙氧基硅烷、氨丙基三甲氧基硅烷、苯氨基甲基三乙氧基硅烷中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的柔性传感器的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述柔性基底为柔性高分子薄膜。
6.根据权利要求5所述的柔性传感器的制备方法，其特征在于，所述柔性高分子薄膜的材料选自硅橡胶或Ecoflex。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的柔性传感器的制备方法，其特征在于，步骤S3具体包括：在所述柔性基底的两表面分别贴合设置所述驻极体薄膜，且所述驻极体薄膜上经表面改性处理的表面与所述柔性基底贴合，形成夹层结构，而后向所述夹层结构的表面均匀施压同时在40～60℃条件下保持20～30h。
8.一种柔性传感器，其特征在于，所述柔性传感器由权利要求1-7中任一项所述的柔性传感器的制备方法制得，包括由下至上依次设置的第一驻极体层、柔性基底和第二驻极体层。
9.一种可穿戴智能设备，其特征在于，包括权利要求8所述的柔性传感器。
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