[发明专利]一种柔性压力传感器及其制备方法和诊脉仪在审
| 申请号： | 201910274808.1 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN110017937A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 董瑛;楚尧;刘慧梁;韩留洋;王晓浩 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01L1/14;A61B5/02 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 唐致明 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性压力传感器及其制备方法和诊脉仪，该柔性压力传感器的制备方法包括先制备具有若干孔洞的柔性隔离层，而后在柔性隔离层的两面贴合设置驻极体层，形成带有空腔的“三明治”式结构，再分别在驻极体层上背离柔性隔离层的表面设置电极层。通过以上方式，本发明柔性压力传感器的制备方法操作简单，成本低，所制得的柔性压力传感器灵敏度高，响应速度快。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性压力传感器 制备 柔性隔离层 驻极体层 诊脉仪 三明治 孔洞 表面设置 贴合设置 灵敏度 电极层 背离 响应 | ||
【主权项】：
1.一种柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、在基底上设置柔性高分子材料层，而后在所述柔性高分子材料层上制造若干孔洞，将带有孔洞的柔性高分子材料层从基底上剥离，制得柔性隔离层；S2、在所述柔性隔离层的两面贴合设置驻极体层；S3、分别在所述驻极体层上背离所述柔性隔离层的表面设置电极层。
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