[发明专利]一种柔性压力传感器及其制备方法和诊脉仪

权利要求书

1.一种柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、在基底上设置柔性高分子材料层，而后在所述柔性高分子材料层上制造若干孔洞，将带有孔洞的柔性高分子材料层从基底上剥离，制得柔性隔离层；

S2、在所述柔性隔离层的两面贴合设置驻极体层；

S3、分别在所述驻极体层上背离所述柔性隔离层的表面设置电极层。

2.根据权利要求1所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，还包括：

S4、将所述柔性隔离层上孔洞中的空气介质电离。

3.根据权利要求2所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，步骤S4中，采用电晕充电法将柔性隔离层上孔洞中的空气介质电离。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，步骤S1中，将带有孔洞的柔性高分子材料层从基体上剥离后，还包括对所述带有孔洞的柔性高分子材料层进行表面改性处理，制得柔性隔离层；

和/或，步骤S2具体包括先对驻极体层进行表面改性处理，再将处理后的驻极体层贴合设于所述柔性隔离层的两表面上；

所述表面改性处理选自氧等离子体刻蚀处理、化学试剂浸泡处理中的至少一种，所述化学试剂浸泡处理所采用的化学试剂选自硅烷偶联剂。

5.根据权利要求1所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述孔洞呈阵列式排布。

6.根据权利要求5所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述柔性隔离层上的孔洞率为10～70％。

7.根据权利要求6所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述孔洞的直径为1～5mm，中心间距为1.2～30mm。

8.根据权利要求1所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述柔性隔离层的厚度为100～500μm；步骤S2中，所述驻极体层的厚度为10～50μm。

9.一种柔性压力传感器，其特征在于，所述柔性压力传感器由权利要求1-8中任一项所述的柔性压力传感器的制备方法制得，包括由下至上依次设置的第一电极层、第一驻极体层、柔性间隔层、第二驻极体层和第二电极层；所述柔性间隔层上设有若干个孔洞。

10.一种诊脉仪，其特征在于，包括权利要求9所述的柔性压力传感器。