[发明专利]掩膜板在审
| 申请号： | 201910273057.1 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN111778475A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 林进志;叶昱均 | 申请（专利权）人： | 陕西坤同半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 西安亚信智佳知识产权代理事务所(普通合伙) 61241 | 代理人： | 杨亚会 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例是关于一种掩膜板。该掩膜板包括：掩膜板本体，上述述掩膜板本体包括主体区以及固定区；其中：上述主体区，用以形成镂空的预设图案；上述固定区，用于与金属框架连接，且该固定区的上下表面均凸起，使得该固定区的厚度大于该主体区的厚度。本发明实施例一方面通过增加固定区的厚度提高了掩膜板和金属框架焊接时的成功率，另一方面由于掩膜板的固定区上下表面均加厚凸起，在提高焊接成功率的同时，也降低了掩膜板因不同区域厚度变化导致应力不同而在焊接时造成的形变，提高了掩膜板制造效率和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陕西坤同半导体科技有限公司，未经陕西坤同半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910273057.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
