[发明专利]蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法及蒸镀掩模的制造方法有效
| 申请号： | 201910237719.X | 申请日： | 2017-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN110144547B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 新纳干大;寺田玲尔;西辻清明;仓田真嗣;武田宪太;三上菜穗子;秋山纯香 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 戚宏梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及蒸镀领域中使用的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法及蒸镀掩模的制造方法。金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10 |
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| 搜索关键词： | 蒸镀掩模用 基材 制造 方法 蒸镀掩模 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩模用基材，在通过蚀刻来形成多个孔、由此制造蒸镀掩模时使用，是具有带状的金属板，其中，上述金属板的宽度方向的各位置处的沿着上述金属板的长边方向的形状相互不同，各形状为在上述金属板的长边方向上具有重复的凹凸的波形状，上述金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离，上述金属板的宽度方向的各位置处的表面距离中的最小值为最小表面距离，上述金属板的宽度方向的各位置处的表面距离与上述最小表面距离之间的差分相对于上述最小表面距离的比率为伸长差率，上述金属板的宽度方向的中央部的伸长差率为3×10‑5以下，上述金属板的宽度方向的两个端部的伸长差率为15×10‑5以下，上述金属板的宽度方向的两个端部中的至少一方的伸长差率小于上述金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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