[发明专利]一种高精度激光扫描振镜位置传感器标定系统

摘要

一种高精度激光扫描振镜位置传感器标定系统，包括：低转矩脉动的永磁同步电动机、高精度角位置传感器、计算机控制系统、永磁同步电动机驱动器、减速器、调零机构、被标定振镜电机、被标定振镜、被标定角位置传感器、激光源、光电式位置探测器，低转矩脉动的永磁同步电动机通过减速器带动被标定振镜电机转动，进而将毫弧度精度等级的电动机转角运动利用减速器转换成振镜微弧度精度等级的转角；激光源产生的光线经过振镜反射后照射到光电式位置探测器上，将振镜的转角信号转换成光电式位置探测器上的光斑位置信号，通过检测光电式位置探测器上的光斑位移进而计算振镜的转角，以此信号作为被标定角位置传感器的参考信号，从而完成对被标定角位置传感器的标定。通过对标定系统结构、关键部件尤其是测试方法的设计创新，使所设计的标定系统能够带动被标定振镜产生微弧度的转角运动，并能够实现微弧度精度等级的转角测量与标定，为高精度激光打标系统的研制和生产提供基础，适用于高精度激光打标领域。

主权项

1.一种高精度激光扫描振镜位置传感器标定系统，包括：低转矩脉动的22极24槽表贴式永磁同步电动机、高精度角位置传感器、计算机控制系统、永磁同步电动机驱动器、大传动比的减速器、调零机构、被标定振镜电机、被标定振镜、被标定角位置传感器、激光源和光电式位置探测器；低转矩脉动的永磁同步电动机通过减速器带动被标定振镜电机转动，进而将毫弧度精度等级的电动机转角运动利用减速器转换成振镜微弧度精度等级的转角；激光源产生的光线经过振镜反射后照射到光电式位置探测器上，将振镜的转角信号转换成光电式位置探测器上的光斑位置信号，通过检测光电式位置探测器上的光斑位移可以精确的计算振镜的转角；所述调零机构采用三轴调整机构，其由摇臂、减速器、滚珠丝杠和直线导轨组成，通过振镜水平面内两个自由度的调整，使初始时刻经过振镜反射到光电式位置探测器的激光束位于探测器的原点，消除由于安装偏差、温度因素引起的零位误差；通过垂直于水平面自由度的调整，调节振镜的高度，实现振镜位置传感器不同精度等级的检测。