[发明专利]一种膜制作装置及工艺

摘要

一种膜制作装置及工艺，属于半导体器件领域。制作装置包括：具有容纳腔的容器，容器由第一端至第二端延伸而成，第二端形成有与容纳腔连通的开口；承载器，承载器被构造来以能够旋转且邻近第一端的方式容纳于容纳腔内；第一管，第一管的管腔与容纳腔连通。盖，盖连接于容器的第二端以封闭开口且能够可选地暴露开口；第二管，第二管的管腔与容纳腔连通，第二管连接于容器的第一端。利用以上所提及的制作装置可以获得厚度更加均匀的膜层，有利于提高制作获得膜的质量。

主权项

1.一种膜制作装置，其特征在于，包括：具有容纳腔的容器，所述容器由第一端至第二端延伸而成，所述第二端形成有与所述容纳腔连通的开口；承载器，所述承载器被构造来以能够旋转且邻近所述第一端的方式容纳于所述容纳腔内；盖，所述盖连接于所述容器的所述第二端以封闭所述开口且能够可选地暴露所述开口；用于从所述容器外引导气流进入所述容纳腔内的第一管，所述第一管的管腔与所述容纳腔连通，所述第一管连接于所述容器的所述第二端或所述盖；用于从所述容纳腔内引导气流排出到所述容器外的第二管，所述第二管的管腔与所述容纳腔连通，所述第二管连接于所述容器的所述第一端。