[发明专利]一种膜制作装置及工艺

说明书

一种膜制作装置及工艺，属于半导体器件领域。制作装置包括：具有容纳腔的容器，容器由第一端至第二端延伸而成，第二端形成有与容纳腔连通的开口；承载器，承载器被构造来以能够旋转且邻近第一端的方式容纳于容纳腔内；第一管，第一管的管腔与容纳腔连通。盖，盖连接于容器的第二端以封闭开口且能够可选地暴露开口；第二管，第二管的管腔与容纳腔连通，第二管连接于容器的第一端。利用以上所提及的制作装置可以获得厚度更加均匀的膜层，有利于提高制作获得膜的质量。

技术领域

本申请涉及半导体器件领域，具体而言，涉及一种膜制作装置及工艺。

背景技术

目前，有机发光器件(OLED)以及量子点发光器件(QLED)的制作方法通常都是溶液加工工艺。即，先通过选择将溶液涂布为薄膜，然后对薄膜进行干燥。其中的干燥的方法一般为热平板(HPB)干燥法。然而，这样的溶液加工工艺会导致膜层的厚度均匀性差，从而引起膜层质量的下降。

发明内容

为改善、甚至解决现有技术中的至少一个问题，本申请提出了一种膜制作装置及工艺，以提高所制备的膜层的厚度均匀性，进而改善制得的薄膜的质量。

本申请是这样实现的：

在第一方面，本申请的示例提供了一种膜制作装置。

膜制作装置包括：

具有容纳腔的容器，容器由第一端至第二端延伸而成，第二端形成有与容纳腔连通的开口；

承载器，承载器被构造来以能够旋转且邻近第一端的方式容纳于容纳腔内；

盖，盖连接于容器的第二端以封闭开口且能够可选地暴露开口；

第一管，第一管的管腔与容纳腔连通，第一管连接于容器的第二端或盖；

第二管，第二管的管腔与容纳腔连通，第二管连接于容器的第一端。

示例中的制作装置具有将由溶液制作湿膜以及将湿膜干燥的两个功能整合的优点。通过结合适当设备可以将制膜和干燥两个工序结合，两者可先后同步进行，从而可以有效缩短膜制作周期。此外，制作和干燥两个步骤可以利用本申请示例中的制作装置被同步执行，并且经由适当操作使膜的厚度更均匀。

结合第一方面，在本申请的第一方面的第一种可能的实施方式的一些可选示例中，第一管具有送风口，且送风口朝向承载器的中部。

可选地，承载器定义有过圆心的垂线，第一管的轴线与承载器的垂线之间具有夹角，且夹角为0～60度。

由于第一管的送风口朝向承载器，因此，可以经由第一管直接向承载器及其上形成的湿膜送风，从而对构成膜的溶液的分布起到作用。同时通过调节风温可以起到更好的干燥效果。另外，风向等参数可对干燥效率和膜厚造成影响，因此，使第一管的轴线与承载器之间构成一定的夹角可达到优化干燥过程的作用。

结合第一方面或第一方面的第一种可能的实施方式，在本申请的第一方面的第二种可能的实施方式的一些可选示例中，第一管能够相对承载器运动。

可选地，第一管能够相对承载器水平和/或竖直运动。

可选地，第一管的自由端与承载器的上表面之间具有距离。

可选地，距离为1～10cm。

第一管可以用来向膜送风，而出风位置以及送风距离对干燥效率和膜厚造成影响，因此，适当可控制第一管的设置方式可以优化以获得理想的膜制作效果。

结合第一方面，在本申请的第一方面的第三种可能的实施方式的一些可选示例中，第一管的送风口呈扩散状或收缩状。

可选地，扩散状和收缩状能够可选且渐变地调节或切换。