[发明专利]一种便捷上料的自清洁黑硅制备用反应装置

摘要

本发明涉及电子材料技术领域，且公开了一种便捷上料的自清洁黑硅制备用反应装置，包括装置底座，所述装置底座的顶部活动安装有收集箱，所述装置底座的顶部开设有滑槽，所述收集箱的底部固定连接有连接块，所述连接块的底部固定安装有滑轮，所述收集箱的左侧固定连接有活动把手。该便捷上料的自清洁黑硅制备用反应装置，通过放置台的内部设置有弹簧、拨片、滑轨、滑块和液压杆，便于控制拨片在放置台的内部进行左右活动，通过放置台的顶部设置有上料箱，上料箱的内部设置活动腔和硅片，拨片通过活动腔延伸至上料箱的内部，便于通过拨片的活动推动硅片向右侧活动，进入上料皮带的顶部，达到了便捷上料的目的。

主权项

1.一种便捷上料的自清洁黑硅制备用反应装置，包括装置底座(1)，其特征在于：所述装置底座(1)的顶部活动安装有收集箱(2)，所述装置底座(1)的顶部开设有滑槽(3)，所述收集箱(2)的底部固定连接有连接块(4)，所述连接块(4)的底部固定安装有滑轮(5)，所述收集箱(2)的左侧固定连接有活动把手(6)，所述收集箱(2)的内部固定安装有连接杆(7)，所述连接杆(7)顶部固定连接有清洁块(8)，所述清洁块(8)的顶部固定连接有清洁垫(9)，所述装置底座(1)的顶部固定连接有支撑柱(10)，所述支撑柱(10)的右侧固定连接有传动电机(11)，所述传动电机(11)的输出轴上固定连接有传动齿轮(12)，所述传动齿轮(12)的外部套装有传动链条(13)，所述支撑柱(10)的顶部固定连接有安装板(14)，所述安装板(14)的正面固定安装有从动齿轮(15)，所述安装板(14)的外部套装有上料皮带(16)，所述装置底座(1)的顶部固定安装有反应装置主体(17)，所述装置底座(1)的左侧活动连接有支撑杆(18)，所述支撑杆(18)的顶部固定连接有放置台(19)，所述放置台(19)的顶部固定连接有上料箱(20)，所述上料箱(20)的内部活动安装有硅片(21)，所述上料箱(20)的内底壁开设有活动腔(22)，所述放置台(19)的内部固定安装有弹簧(23)，所述弹簧(23)的右侧固定连接有拨片(24)，所述放置台(19)的内底壁开设有滑轨(25)，所述拨片(24)的底部固定连接有滑块(26)，所述拨片(24)的右侧固定连接有液压杆(27)。