[发明专利]一种SrMoO3陶瓷靶材的制备方法

摘要

本发明提供一种基于钙钛矿结构的SrMoO₃陶瓷靶材的制备方法，在避免Mo⁴⁺阳离子被氧化的前提下，以一种方便、低成本的方法合成烧结活性较高、尺寸均匀较小的SrMoO₃前驱体颗粒；然后通过单项模压加冷等静压成型；最后，选择一种低能耗、设备成本小的SrMoO₃陶瓷烧结方法。制备得到高密度、低电阻率、纯钙钛矿相的高质量SrMoO₃陶瓷，可满足诸多SrMoO₃薄膜镀膜应用的需求。

主权项

1.一种SrMoO₃陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，包括以下具体步骤：1）将SrCO₃粉体和 MoO₃粉体按照摩尔比1:1混合后加入含有0.1‑2wt%分散剂的去离子水中，经球磨形成浆料；然后将所述浆料在60‑100℃的干燥箱中干燥10‑24小时，得到SrMoO₄粉体；将所述SrMoO₄粉体放入坩埚置于气氛炉中，在 H₂和Ar混合气体氛围下，于1300‑1900℃下还原4‑14小时，得到SrMoO₃前驱体粉末；2）将所述SrMoO₃前驱体粉末置入模具中经20‑50MPa单项模压和120‑300MPa的冷等静压成型，保压时间为60‑600s，形成致密度为60‑75%的陶瓷坯体；将陶瓷坯体置于烧结炉中，烧结炉从室温开始以0.5‑10℃/min的升温速率升到第一步设定温度1350‑1480℃，保温120‑360min；然后以10‑100℃/min降温速率降到第二步设定温度1000‑1250℃，并保温120‑480min，最后，以0.5‑10℃/min的降温速率降至室温即得SrMoO₃陶瓷靶材。