[发明专利]一种玻璃曝光设备及方法在审

专利信息
申请号: 201910205361.2 申请日: 2019-03-18
公开(公告)号: CN109799686A 公开(公告)日: 2019-05-24
发明(设计)人: 俞庆平;章广飞 申请(专利权)人: 安徽地势坤光电科技有限公司;安徽地势坤装备科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 严诚
地址: 236000 安徽省阜阳*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明涉及玻璃加工技术领域,公开了一种玻璃曝光设备及方法。本发明实施例的玻璃曝光设备包括曝光装置、递送装置以及控制装置。曝光装置包括曝光台、载物驱动机构、定位机构以及激光曝光组件,激光曝光组件用于对工件进行激光直写。整个设备采用了激光直写的方式对玻璃工件进行图案加工,并且利用了可移动的曝光台将生料(待曝光的工件)依次带到各个工位进行加工,并由递送装置完成上、下料,整个加工过程较为高效,时间成本和人力成本均较低。本发明实施例的玻璃曝光方法利用了上述的玻璃曝光设备,因此也具有加工效率高的优点。
搜索关键词: 曝光设备 玻璃 激光曝光组件 递送装置 激光直写 曝光装置 曝光台 玻璃工件 玻璃加工 定位机构 加工效率 控制装置 驱动机构 人力成本 时间成本 图案加工 曝光 可移动 工位 生料 下料 载物 加工
【主权项】:
1.一种玻璃曝光设备,用于对玻璃工件进行曝光处理以在所述玻璃工件上加工图案,其特征在于,所述玻璃曝光设备包括:曝光装置,所述曝光装置包括用于承载工件的曝光台、用于驱动所述曝光台运动的载物驱动机构、用于对所述工件进行定位的定位机构以及设置于所述曝光台上方的激光曝光组件,所述激光曝光组件用于对所述工件进行激光直写;递送装置,所述递送装置包括输送台和递送机构,所述递送机构用于将待曝光的工件从所述输送台送至所述曝光台以及将曝光后的工件从所述曝光台送至所述输送台;控制装置,所述控制装置分别与所述载物驱动机构、所述定位机构、所述激光曝光组件以及所述递送机构电连接,所述控制装置用于控制所述载物驱动机构驱动所述曝光台以将所承载的所述工件移动至所述定位机构进行定位,控制所述载物驱动机构驱动所述曝光台将所述工件移动至所述激光曝光组件下方进行激光直写;所述控制装置还用于控制所述递送机构将待曝光的工件从所述输送台送至所述曝光台以及将曝光后的工件从所述曝光台送至所述输送台。
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