[发明专利]一种玻璃曝光设备及方法

权利要求书

1.一种玻璃曝光设备，用于对玻璃工件进行曝光处理以在所述玻璃工件上加工图案，其特征在于，所述玻璃曝光设备包括：

曝光装置，所述曝光装置包括用于承载工件的曝光台、用于驱动所述曝光台运动的载物驱动机构、用于对所述工件进行定位的定位机构以及设置于所述曝光台上方的激光曝光组件，所述激光曝光组件用于对所述工件进行激光直写；

递送装置，所述递送装置包括输送台和递送机构，所述递送机构用于将待曝光的工件从所述输送台送至所述曝光台以及将曝光后的工件从所述曝光台送至所述输送台；

控制装置，所述控制装置分别与所述载物驱动机构、所述定位机构、所述激光曝光组件以及所述递送机构电连接，所述控制装置用于控制所述载物驱动机构驱动所述曝光台以将所承载的所述工件移动至所述定位机构进行定位，控制所述载物驱动机构驱动所述曝光台将所述工件移动至所述激光曝光组件下方进行激光直写；所述控制装置还用于控制所述递送机构将待曝光的工件从所述输送台送至所述曝光台以及将曝光后的工件从所述曝光台送至所述输送台。

2.根据权利要求1所述的玻璃曝光设备，其特征在于，所述曝光台为可转动的转台，所述载物驱动机构用于驱动所述曝光台转动。

3.根据权利要求2所述的玻璃曝光设备，其特征在于，所述曝光装置还包括龙门架，所述龙门架上设置有位于所述曝光台上方的扫描轴，所述激光曝光组件可滑动地设置于所述扫描轴，所述定位机构包括可滑动地设置于所述扫描轴的定位相机，所述定位相机用于采集所述工件的位置信息，所述扫描轴上设置有用于驱动所述定位相机和所述激光曝光组件移动的扫描驱动机构，所述定位相机与所述扫描驱动机构分别与所述控制装置电连接；所述控制装置用于控制所述扫描驱动机构驱动所述定位相机和所述激光曝光组件沿所述扫描轴运动以及获取所述定位相机采集的所述工件的位置信息。

4.根据权利要求3所述的玻璃曝光设备，其特征在于，所述定位相机为工业级的CCD或CMOS相机。

5.根据权利要求1所述的玻璃曝光设备，其特征在于，所述递送机构包括机械手或递送机器人。

6.根据权利要求5所述的玻璃曝光设备，其特征在于，所述递送机构包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手和所述第二机械手均用于将所述工件从所述输送台移至所述曝光台以及将所述工件从所述曝光台移至所述输送台。

7.根据权利要求1所述的玻璃曝光设备，其特征在于，所述输送台包括输送机构，所述输送机构与所述控制装置电连接，所述输送台上具有依次排列的生料区、递送区以及熟料区，所述控制装置用于控制所述输送机构将待曝光的工件从所述生料区输送至所述递送区以及将曝光后的工件从所述递送区输送至所述熟料区；所述递送机构用于将所述工件在所述递送区与所述曝光台之间转移。

8.根据权利要求7所述的玻璃曝光设备，其特征在于，所述递送区的上方设置有物料相机，所述物料相机与所述控制装置电连接，所述控制装置用于接收所述物料相机所采集的所述递送区上的物料信息。

9.根据权利要求1所述的玻璃曝光设备，其特征在于，所述曝光台上设置有用于固定所述工件的气动吸盘，所述气动吸盘与所述控制装置电连接。

10.一种玻璃曝光方法，用于对玻璃工件进行曝光处理，以在所述玻璃工件上加工图案，其特征在于，所述玻璃曝光方法利用权利要求1-9中任一项所述的玻璃曝光设备对玻璃工件进行曝光，所述玻璃曝光方法包括：

控制所述递送机构将所述输送台上的所述工件移至所述曝光台；

控制所述载物驱动机构驱动所述曝光台以将所承载的所述工件移动至所述定位机构，控制所述定位机构获取所述工件的位置信息；

根据所述工件的位置信息，控制所述载物驱动机构驱动所述曝光台将所述工件移动至所述激光曝光组件下方，控制所述激光曝光组件对所述工件进行激光直写；

控制所述递送机构将曝光后的所述工件从所述曝光台送至所述输送台。