[发明专利]防结露方法和处理系统在审
| 申请号： | 201910166864.3 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN110246742A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 镰田纮司 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明防止处理装置的部件结露。一个实施方式中的防结露方法为处理被处理体的处理装置中的防结露方法，包括第一测量步骤、第二测量步骤和第一控制步骤。在第一测量步骤中，测量露出在封闭空间内的处理装置的部件的第一表面温度。在第一测量步骤中，测量封闭空间内的空气的露点温度。在第一控制步骤中，根据第一表面温度和封闭空间内的空气的露点温度，来控制对封闭空间内的低露点空气的供给量，该低露点空气是露点温度比处理装置的外部的空气低的空气。 | ||
| 搜索关键词： | 处理装置 封闭空间 第一测量 防结露 露点 第一表面 控制步骤 低露点 测量 供给量 被处理体 处理系统 第二测量 结露 外部 | ||
【主权项】：
1.一种处理被处理体的处理装置中的防结露方法，其特征在于，包括：第一测量步骤，测量露出在封闭空间内的所述处理装置的部件的第一表面温度；测量所述封闭空间内的空气的露点温度的第二测量步骤；和第一控制步骤，基于所述第一表面温度和所述封闭空间内的空气的露点温度，来控制对所述封闭空间内供给的低露点空气的供给量，所述低露点空气是露点温度比所述处理装置的外部的空气低的空气。
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