[发明专利]一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置有效
| 申请号： | 201910165714.0 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN110021534B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 周淑英;黄梅玉;骆伟秋;饶榕琦 | 申请（专利权）人： | 深圳思谋信息科技有限公司;上海思谋科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 佛山市智汇聚晨专利代理有限公司 44409 | 代理人： | 曹丽敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置，其结构包括测试架、扫描板、输送台，所述测试架与扫描板轨道连接，所述扫描板螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆安装在测试架上，所述测试架与输送台锁定，所述输送台由围框、锁孔、锁板、内部装置组成，所述围框装设有锁孔、锁板，所述内部装置安装在围框上，本发明晶圆进行流水加工经过检测装置时通过扫描板进行扫描检测，若为合格品则在输送台上继续输送至下道工序，若检测出残质品，内部装置进行运行，通过内部扫描装置进行二次扫描检测，内部扫描装置的侧面扫描能够更加准确的判断是否为假性瑕疵，避免造成对合格品进行二次检修，降低了加工成本，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 避免 假性 瑕疵 晶圆流片 表面 平整 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置，其结构包括测试架(1)、扫描板(2)、输送台(3)，所述测试架(1)与扫描板(2)轨道连接，所述扫描板(2)螺纹连接有螺纹杆(20)，所述螺纹杆(20)安装在测试架(1)上，所述测试架(1)与输送台(3)锁定，其特征在于：所述输送台(3)由围框(30)、锁孔(31)、锁板(32)、内部装置(33)组成，所述围框(30)装设有锁孔(31)、锁板(32)，所述内部装置(33)安装在围框(30)上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
