[发明专利]一种PERC电池背表面的抛光方法

摘要

本发明公开了一种PERC电池背表面的抛光方法，具体包括大气压等离子体放电在硅片正表面制备二氧化硅膜、抛光硅片背表面和去离子水清洗、烘干等步骤，较传统的高温氧化制备二氧化硅膜的方法而言，本发明公开的方法更加简单，大气压等离子体放电产生二氧化硅的过程可在室温空气条件下进行，对设备要求低，能耗低，操作更为便捷；在氧化后只需利用去离子水对电池背表面进行清洗，与含氟浆料清洗相比，能显著节约成本和避免环境污染。

主权项

1.一种PERC电池背表面的抛光方法，其特征在于，具体包括以下步骤：(1)将单晶制绒后的硅片的其中一个表面作为PERC电池的正表面，在该表面进行大气压等离子体放电，得到不同厚度的二氧化硅膜；(2)在浓度为2～10wt％的抛光化学试剂水溶液中对硅片背表面进行抛光；(3)将抛光后的硅片置于含2～5wt％HF的水溶液中进行清洗，去除硅片正面的二氧化硅膜；(4)用去离子水清洗硅片，再将硅片离心烘干。