[发明专利]一种掩模版、运动台定位误差补偿装置及补偿方法有效
| 申请号： | 201910152262.2 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111624856B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 吴丽丽 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩模版、运动台定位误差补偿装置及补偿方法。所述掩模版包括测量标记；所述测量标记包括至少一个测量单元，所述测量单元包括两个标记组，所述标记组包括X向标记和Y向标记，所述X向标记包括至少一个X向光栅和X向定位标记，所述Y向标记包括至少一个Y向光栅和Y向定位标记；所述两个标记组包括第一标记组和第二标记组，所述第一标记组定位的中心为第一中心，所述第二标记组定位的中心为第二中心，所述测量标记顺时针或逆时针旋转90°后，所述第一中心与未旋转前所述第二中心重合。本发明实施例提供的技术方案，实现了运动台高阶形变的校正，且可适用于在线周期性校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模版 运动 定位 误差 补偿 装置 方法 | ||
【主权项】：
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