[发明专利]一种掩模版、运动台定位误差补偿装置及补偿方法

权利要求书

1.一种掩模版，其特征在于，包括测量标记；

所述测量标记包括至少一个测量单元，所述测量单元包括两个标记组，所述标记组包括X向标记和Y向标记，所述X向标记包括至少一个X向光栅和X向定位标记，所述Y向标记包括至少一个Y向光栅和Y向定位标记；

所述两个标记组包括第一标记组和第二标记组，所述第一标记组定位的中心为第一中心，所述第二标记组定位的中心为第二中心，所述测量标记顺时针或逆时针旋转90°后，所述第一中心与未旋转前所述第二中心重合；

所述测量标记的成像标记位于基底的划线槽中。

2.根据权利要求1所述的掩模版，其特征在于，所述至少一个X向光栅的数量大于1，所述至少一个Y向光栅的数量大于1时，所述X向标记中的多个所述X向光栅沿Y方向排列；所述Y向标记中的多个所述Y向光栅沿X向排列。

3.根据权利要求2所述的掩模版，其特征在于，所述X向标记中的多个所述X向光栅的狭缝宽度不同，所述Y向标记中的多个所述Y向光栅的狭缝宽度不同。

4.根据权利要求3所述的掩模版，其特征在于，所述X向标记包括两个X向光栅；所述Y向标记包括两个Y向光栅。

5.根据权利要求4所述的掩模版，其特征在于，同一所述X向标记中，所述X向定位标记位于两个所述X向光栅之间；同一所述Y向标记中，所述Y向定位标记位于两个所述Y向定位标记之间。

6.根据权利要求1所述的掩模版，其特征在于，所述X向定位标记和所述Y向定位标记的形状可以为十字形。

7.一种运动台定位误差补偿装置，其特征在于，包括：

掩模版，所述掩模版上设有用于运动台定位误差测量的测量标记；

掩模台，用于承载所述掩模版；

工件台，用于承载涂胶后的基底；

投影物镜，用于将所述掩模版上的所述测量标记成像在所述基底上；

对准装置，用于测量所述测量标记在显影后所述基底上的成像标记；

其中，所述测量标记包括两个标记组，所述标记组包括X向标记和Y向标记，所述X向标记包括至少一个X向光栅和X向定位标记，所述Y向标记包括至少一个Y向光栅和Y向定位标记；

所述两个标记组包括第一标记组和第二标记组，所述第一标记组定位的中心为第一中心，所述第二标记组定位的中心为第二中心，所述测量标记顺时针或逆时针旋转90°后，所述第一中心与未旋转前所述第二中心重合；

所述测量标记的成像标记位于基底的划线槽中。

8.根据权利要求7所述的运动台定位误差补偿装置，其特征在于，还包括与所述掩模台连接的掩模台位置测量系统，以及与所述工件台连接的工件台位置测量系统。

9.根据权利要求8所述的运动台定位误差补偿装置，其特征在于，所述掩模台位置测量系统和所述工件台位置测量系统采用干涉仪、光栅尺或平面光栅尺。

10.根据权利要求7所述的运动台定位误差补偿装置，其特征在于，所述对准装置采用CCD或光栅尺。