[发明专利]一种芯片纳米银浆涂覆装置有效
申请号: | 201910119192.0 | 申请日: | 2019-02-18 |
公开(公告)号: | CN109950178B | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 崔建中 | 申请(专利权)人: | 英鸿纳米科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 301707 天津市武清区豆张庄乡世*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明提供了一种芯片纳米银浆涂覆装置,本发明解决了现有芯片涂覆装置涂覆效率低、不能满足不同种类芯片的问题;通过主动轮、从动轮、第一电机、第一电缆、第二电缆等带动第一滚轮、第二滚轮转动,辅助板在轨道上沿X方向移动,从而带动涂覆轮完成多个芯片的涂覆工作,涂覆效率高,可以同时进行多组芯片的涂覆操作,大大提高了芯片的生产效率;通过第一安装轴、第二安装轴实现辅助轴的可拆卸安装,方便更换不同宽度的涂覆轮,满足不同种类、不同大小芯片的涂覆,灵活性高,通用性强;利用限位件实现涂覆轮的轴向定位,避免涂覆轮在涂覆过程中移位,影响涂覆操作。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 纳米 银浆涂覆 装置 | ||
【主权项】:
1.一种芯片纳米银浆涂覆装置,其特征在于,包括底板、辅助件、第一电机、第二电机、限位件;底板上设有第一支撑柱、第二支撑柱、第三支撑柱、第四支撑柱,第一支撑柱、第二支撑柱、第三支撑柱、第四支撑柱围绕底板中心轴线顺时针分布,第一支撑柱、第三支撑柱呈对角线分布,第二支撑柱、第四支撑柱呈对角线分布;底板上设有一对轨道,轨道位于第一支撑柱、第二支撑柱外部,轨道沿X方向延伸;轨道上方设有辅助件,辅助件包括第一滚轮、第二滚轮、第一线缆、第二线缆、主动轮、从动轮、辅助板、辅助轴;辅助板上端面设有主动轮、从动轮,主动轮固定在主轴上,主动轮中心轴线与主轴中心轴线重合,主轴一端与辅助板转动连接,另一端与第一电机轴连接,第一电机固定在辅助板上;从动轮固定在副轴上,从动轮中心轴线与副轴中心轴线重合,副轴与辅助板转动连接;主动轮圆柱面上设有第一主环形槽、第一副环形槽,第一主环形槽位于第一副环形槽上方,第一主环形槽与第一副环形槽平行,第一主环形槽中心轴线与主动轮中心轴线重合;从动轮圆柱面上设有第二主环形槽、第二副环形槽,第二主环形槽位于第二副环形槽上方,第二主环形槽与第二副环形槽平行,第二主环形槽中心轴线与从动轮中心轴线重合;第一线缆一端固定在第一支撑柱上,另一端依次穿过第一主环形槽、第二主环形槽与第三支撑柱固定连接;第二线缆一端固定在第二支撑柱上,另一端依次绕过第一副环形槽、第二副环形槽与第四支撑柱固定连接;第一滚轮、第二滚轮分别位于辅助板的前后两端,第一滚轮中心轴线与第二滚轮中心轴线重合;第一滚轮固定在第一安装轴上,第一安装轴与辅助板转动连接;第二滚轮固定在第二安装轴上,第二安装轴与辅助板转动连接,第二安装轴远离滚轮的一端设有外螺纹;第一滚轮、第二滚轮插入轨道内;辅助轴位于第一安装轴与第二安装轴之间,辅助轴一端与第一安装轴插接式连接,辅助轴另一端与第二安装轴螺纹连接;涂覆轮位于辅助轴上,涂覆轮与辅助轴之间插接式连接;底板左侧设有储存罐,储存罐内设有纳米银浆;储存罐通过管道与喷淋管连接;喷淋管上设有多个喷淋嘴,喷淋管固定在螺母座上,螺母座与丝杠螺纹连接,丝杠与底板转动连接;丝杆一端与第二电机轴连接,丝杠与喷淋管垂直。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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