[发明专利]一种芯片纳米银浆涂覆装置有效

专利信息
申请号: 201910119192.0 申请日: 2019-02-18
公开(公告)号: CN109950178B 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 崔建中 申请(专利权)人: 英鸿纳米科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 301707 天津市武清区豆张庄乡世*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明提供了一种芯片纳米银浆涂覆装置,本发明解决了现有芯片涂覆装置涂覆效率低、不能满足不同种类芯片的问题;通过主动轮、从动轮、第一电机、第一电缆、第二电缆等带动第一滚轮、第二滚轮转动,辅助板在轨道上沿X方向移动,从而带动涂覆轮完成多个芯片的涂覆工作,涂覆效率高,可以同时进行多组芯片的涂覆操作,大大提高了芯片的生产效率;通过第一安装轴、第二安装轴实现辅助轴的可拆卸安装,方便更换不同宽度的涂覆轮,满足不同种类、不同大小芯片的涂覆,灵活性高,通用性强;利用限位件实现涂覆轮的轴向定位,避免涂覆轮在涂覆过程中移位,影响涂覆操作。
搜索关键词: 一种 芯片 纳米 银浆涂覆 装置
【主权项】:
1.一种芯片纳米银浆涂覆装置,其特征在于,包括底板、辅助件、第一电机、第二电机、限位件;底板上设有第一支撑柱、第二支撑柱、第三支撑柱、第四支撑柱,第一支撑柱、第二支撑柱、第三支撑柱、第四支撑柱围绕底板中心轴线顺时针分布,第一支撑柱、第三支撑柱呈对角线分布,第二支撑柱、第四支撑柱呈对角线分布;底板上设有一对轨道,轨道位于第一支撑柱、第二支撑柱外部,轨道沿X方向延伸;轨道上方设有辅助件,辅助件包括第一滚轮、第二滚轮、第一线缆、第二线缆、主动轮、从动轮、辅助板、辅助轴;辅助板上端面设有主动轮、从动轮,主动轮固定在主轴上,主动轮中心轴线与主轴中心轴线重合,主轴一端与辅助板转动连接,另一端与第一电机轴连接,第一电机固定在辅助板上;从动轮固定在副轴上,从动轮中心轴线与副轴中心轴线重合,副轴与辅助板转动连接;主动轮圆柱面上设有第一主环形槽、第一副环形槽,第一主环形槽位于第一副环形槽上方,第一主环形槽与第一副环形槽平行,第一主环形槽中心轴线与主动轮中心轴线重合;从动轮圆柱面上设有第二主环形槽、第二副环形槽,第二主环形槽位于第二副环形槽上方,第二主环形槽与第二副环形槽平行,第二主环形槽中心轴线与从动轮中心轴线重合;第一线缆一端固定在第一支撑柱上,另一端依次穿过第一主环形槽、第二主环形槽与第三支撑柱固定连接;第二线缆一端固定在第二支撑柱上,另一端依次绕过第一副环形槽、第二副环形槽与第四支撑柱固定连接;第一滚轮、第二滚轮分别位于辅助板的前后两端,第一滚轮中心轴线与第二滚轮中心轴线重合;第一滚轮固定在第一安装轴上,第一安装轴与辅助板转动连接;第二滚轮固定在第二安装轴上,第二安装轴与辅助板转动连接,第二安装轴远离滚轮的一端设有外螺纹;第一滚轮、第二滚轮插入轨道内;辅助轴位于第一安装轴与第二安装轴之间,辅助轴一端与第一安装轴插接式连接,辅助轴另一端与第二安装轴螺纹连接;涂覆轮位于辅助轴上,涂覆轮与辅助轴之间插接式连接;底板左侧设有储存罐,储存罐内设有纳米银浆;储存罐通过管道与喷淋管连接;喷淋管上设有多个喷淋嘴,喷淋管固定在螺母座上,螺母座与丝杠螺纹连接,丝杠与底板转动连接;丝杆一端与第二电机轴连接,丝杠与喷淋管垂直。
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