[发明专利]一种热交换法生长晶体管的模具及生长方法在审
| 申请号： | 201910110633.0 | 申请日： | 2019-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN109853032A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 薛艳艳;徐军;吴锋;徐晓东;李东振;王东海;王庆国 | 申请（专利权）人： | 南京同溧晶体材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B33/02;C30B29/20 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 沈振涛 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种热交换法生长晶体管的模具及其生长方法，所述模具为倒置的凸字形空心圆柱体结构坩埚，所述坩埚底端为籽晶区，上端为晶体管生长区和圆柱体；所述圆柱体沿所述坩埚中心轴线设置在整个结构的中间，所述晶体管生长区设置在圆柱体、坩埚之间；所述圆柱体是可拆卸安装在坩埚内。所述晶体管生长方法包括：装炉、抽真空并通入保护气体、升温化料、晶体管生长、退火取出晶体管，通过控制加热功率与保护气体流量控制温度变化与炉内环境。与传统的加工技术相比，本发明用热交换法直接生长晶体管，有效提高晶体利用率，降低生产成本；并且晶体管的尺寸可控，可简化加工程序。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体管 生长 坩埚 热交换法 模具 保护气体 生长区 空心圆柱体结构 简化加工程序 退火 晶体利用率 可拆卸安装 尺寸可控 加热功率 流量控制 炉内环境 整个结构 直接生长 轴线设置 坩埚中心 倒置 上端 抽真空 传统的 凸字形 籽晶区 底端 化料 装炉 取出 加工 | ||
【主权项】：
1.一种热交换法生长晶体管的模具，其特征在于：所述模具为倒置的凸字形空心圆柱体结构坩埚(1)，所述坩埚(1)底端为籽晶区(4)，上端为晶体管生长区(3)和圆柱体(2)；所述圆柱体(2)沿所述坩埚(1)中心轴线设置在整个结构的中间，所述晶体管生长区(3)设置在圆柱体(2)、坩埚(1)之间；所述圆柱体(2)可拆卸安装在坩埚(1)内。
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