[发明专利]一种制备等轴状α相氮化硅粉末的方法有效
| 申请号： | 201910107404.3 | 申请日： | 2019-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN109608205B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 谢志鹏;胡尊兰 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C04B35/584 | 分类号： | C04B35/584;C04B35/626;C01B21/068 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种制备等轴状α相氮化硅粉末的方法。该方法包括以下步骤：以四氯化硅和液氨为原料，在液相条件下，合成硅亚胺固体，然后将硅亚胺固体热分解获得无定型氮化硅。将无定型氮化硅和辅助添加剂通过球磨工艺进行处理，使其充分混合均匀。将所得的混合物，置于石墨或氮化硼坩埚中，一定气氛条件下，在气氛烧结炉中进行结晶化处理0～48h，即获得杂质少、等轴状、高α相氮化硅粉体。这种氮化硅粉体的制备工艺周期较短，氮化硅颗粒形貌易于控制，有利于实现大规模工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 氮化 粉末 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备等轴状α相氮化硅粉末的方法，包括：1)将硅亚胺在保护气氛下进行热分解，得到无定型氮化硅粉体；2)将步骤1)所得无定型氮化硅粉体进行球磨，得到球磨后的无定型氮化硅粉体；3)将步骤2)所得球磨后的无定型氮化硅粉体在压强为0.1～10MPa的条件下进行结晶化处理，得到所述等轴状α相氮化硅粉末。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910107404.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
