[发明专利]有机EL显示器用的反射阳极电极及其应用

摘要

提供一种有机EL显示器用的反射阳极电极及其应用。为包含包括Al‑Ge系合金膜、以及与Al‑Ge系合金膜接触的氧化物导电膜的层叠结构、且在这些的接触界面中介隔存在以氧化铝为主成分的层的有机EL显示器用的反射阳极电极，并且Al‑Ge系合金膜含有0.1原子％～2.5原子％的Ge，且在Al‑Ge系合金膜与氧化物导电膜的接触界面中形成有Ge浓化层及含有Ge的析出物，Al‑Ge系合金膜中的、自氧化物导电膜侧的表面起50nm以内的平均Ge浓度为Al‑Ge系合金膜中的平均Ge浓度的2倍以上，且含有Ge的析出物的平均直径为0.1μm以上。

主权项

1.一种有机电致发光显示器用的反射阳极电极，其为包含包括Al‑Ge系合金膜、以及与所述Al‑Ge系合金膜接触的氧化物导电膜的层叠结构、且在所述Al‑Ge系合金膜与所述氧化物导电膜的接触界面中介隔存在以氧化铝为主成分的层的有机电致发光显示器用的反射阳极电极，并且其特征在于：所述Al‑Ge系合金膜含有0.1原子％～2.5原子％的Ge，且在所述Al‑Ge系合金膜与所述氧化物导电膜的接触界面中形成有Ge浓化层及含有Ge的析出物，所述Al‑Ge系合金膜中的、自所述氧化物导电膜侧的表面起至50nm为止的平均Ge浓度为所述Al‑Ge系合金膜中的平均Ge浓度的2倍以上，且所述含有Ge的析出物的平均直径为0.1μm以上。