[发明专利]有机EL显示器用的反射阳极电极及其应用有效
| 申请号： | 201910085196.1 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN110120459B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 田内裕基;寺前裕美 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L27/32;C22C21/00;C22C21/12;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 彭雪瑞;臧建明 |
| 地址： | 日本兵库县神户市中央区脇浜海岸*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 el 显示 器用 反射 阳极 电极 及其 应用 | ||
1.一种有机电致发光显示器用的反射阳极电极，其为包含包括Al-Ge系合金膜、以及与所述Al-Ge系合金膜接触的氧化物导电膜的层叠结构、且在所述Al-Ge系合金膜与所述氧化物导电膜的接触界面中介隔存在以氧化铝为主成分的层的有机电致发光显示器用的反射阳极电极，并且其特征在于：
所述Al-Ge系合金膜含有0.1原子％～2.5原子％的Ge，且
在所述Al-Ge系合金膜与所述氧化物导电膜的接触界面中形成有Ge浓化层及含有Ge的析出物，
所述Al-Ge系合金膜中的、自所述氧化物导电膜侧的表面起至50nm为止的平均Ge浓度为所述Al-Ge系合金膜中的平均Ge浓度的2倍以上，且所述含有Ge的析出物的平均直径为0.1μm以上。
2.根据权利要求1所述的有机电致发光显示器用的反射阳极电极，其特征在于：所述Al-Ge系合金膜进而含有0.05原子％～2.0原子％的Cu。
3.根据权利要求1所述的有机电致发光显示器用的反射阳极电极，其特征在于：所述Al-Ge系合金膜进而含有0.2原子％～0.5原子％的稀土元素。
4.根据权利要求1所述的有机电致发光显示器用的反射阳极电极，其特征在于：所述Al-Ge系合金膜与薄膜晶体管的源电极·漏电极电性连接。
5.根据权利要求1所述的有机电致发光显示器用的反射阳极电极，其特征在于：所述Al-Ge系合金膜是利用溅射法或真空蒸镀法来形成。
6.一种薄膜晶体管基板，其特征在于包括：根据权利要求1至3中任一项所述的有机电致发光显示器用的反射阳极电极。
7.一种有机电致发光显示器，其特征在于包括：根据权利要求6所述的薄膜晶体管基板。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
