[发明专利]半导体器件和半导体器件制造方法有效
申请号: | 201910075271.6 | 申请日: | 2019-01-25 |
公开(公告)号: | CN111490099B | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 韩啸 | 申请(专利权)人: | 苏州能讯高能半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L23/367;H01L21/335 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 孙海杰 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请提供的半导体器件和半导体器件制造方法,涉及半导体技术领域。其中,半导体器件包括:衬底;在所述衬底上制作的半导体层;基于所述半导体层远离所述衬底的一侧制作的源极、栅极和漏极;散热结构,该散热结构与所述源极接触并贯穿所述半导体层后与所述衬底接触,且该散热结构靠近所述衬底的一端至少延伸至所述栅极对应的位置。通过上述设置,可以改善现有的半导体器件中存在的散热效果较差的问题。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
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