[发明专利]基于原子层沉积的结构色的制备方法及具有结构色的产品在审

专利信息
申请号: 201910071203.2 申请日: 2019-01-25
公开(公告)号: CN110055516A 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: 胡建臣;张克勤;左丽娜;彭瑜;尹菲;郭贺虎 申请(专利权)人: 南通纺织丝绸产业技术研究院;苏州大学
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/40;C23C16/52
代理公司: 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 代理人: 叶栋
地址: 226000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种基于原子层沉积的结构色的制备方法及具有结构色的产品,该制备方法采用原子层沉积设备,包括以下步骤:提供样品、沉积材料以及沉积气体;沉积材料包括水和先驱物,先驱物包括钛酸四异丙酯;沉积气体包括第一惰气和第二惰气;将样品放入至原子层沉积设备的腔体内进行预热;将预热后的样品在反应温度为120‑180℃、气体流速为40‑60cm3/min的条件下进行原子层沉积,在原子层沉积过程中,依次进行水脉冲吸附反应、第一惰气驱逐、先驱物脉冲吸附反应以及第二惰气驱逐,得到沉积有结构色的样品。其通过原子层沉积方法沉积一定厚度的均匀TiO2薄膜在产品的表面上,由于均匀TiO2的薄膜干涉的作用,导致其表面产生颜色,从而制备出可均一性包覆在产品表面的结构色。
搜索关键词: 结构色 原子层沉积 惰气 制备 先驱物 原子层沉积设备 沉积材料 沉积气体 预热 沉积 原子层沉积过程 钛酸四异丙酯 薄膜干涉 产品表面 脉冲吸附 气体流速 吸附反应 均一性 水脉冲 包覆 放入 体内
【主权项】:
1.一种基于原子层沉积的结构色的制备方法,其特征在于,采用原子层沉积设备,包括以下步骤:提供样品、沉积材料以及沉积气体;所述样品为三维结构,具有三维复杂表面;所述沉积材料包括水和先驱物,所述先驱物包括钛酸四异丙酯;所述沉积气体包括第一惰气和第二惰气;将样品放入至所述原子层沉积设备的腔体内进行预热;将预热后的样品在反应温度为120‑180℃、气体流速为40‑60cm3/min的条件下进行原子层沉积,以在所述样品上沉积TiO2薄膜,得到沉积有结构色的样品。
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