[发明专利]一种用于原子层沉积的夹具及生产沉积薄膜的方法

摘要

本发明提供了一种用于原子层沉积的夹具及生产沉积薄膜的方法，该夹具包括底板、盖板、第一滤网、第二滤网和通道手柄，盖板可拆卸地设置在所述底板上，盖板和底板上均设置有通孔，两个通孔相对设置，第一滤网设置在盖板的通孔内，第二滤网设置在底板的通孔内，第一滤网和第二滤网相间隔，底板上设置有气体出口，气体出口设置在第二滤网的下方，通道手柄固定在底板上，通道手柄内设置有气体通道，气体通道的一端与外界相通，气体通道的另一端和气体出口相连通，前驱体源可以与预先铺设的粉末样品反应，在第二滤网内表面得到想要的沉积薄膜，并且一个夹具可以适用于多种不同的薄膜沉积实验，具备很好的实用性。

主权项

1.一种用于原子层沉积的夹具，其特征在于，包括底板(8)、盖板(1)、第一滤网(6)、第二滤网(7)和通道手柄(2)，其中：所述盖板(1)可拆卸地设置在所述底板(8)上，所述盖板(1)和所述底板(8)上均设置有通孔，两个所述通孔相对设置；所述第一滤网(6)设置在所述盖板(1)的通孔内，所述第二滤网(7)设置在所述底板(8)的通孔内，所述第一滤网(6)和第二滤网(7)相间隔；所述底板(8)上设置有气体出口，所述气体出口设置在所述第二滤网(7)的下方，所述通道手柄(2)固定在所述底板(8)上，所述通道手柄(2)内设置有气体通道(3)，所述气体通道(3)的一端与外界相通，所述气体通道(3)的另一端和所述气体出口相连通。