[发明专利]一种高转换增益和低串扰的像素探测器

摘要

本发明公开了一种高转换增益和低串扰的像素探测器，包括：低阻硅层(电路层)、埋氧层、高阻n型衬底、背部电极、n+探测阱、n+探测阱读出电极、埋p阱引出电极、埋p阱、背部深埋p阱；本发明可以有效抑制背栅效应以及传感器与电路之间的串扰；降低全耗尽电压；有效降低电荷收集端的敏感节点电容，提高转换增益。

主权项

1.一种高转换增益和低串扰的像素探测器,其特征在于：低阻硅层、埋氧层、高阻n型衬底、背部电极、n+探测阱、n+探测阱读出电极、埋p阱引出电极、埋p阱、背部深埋p阱；所述的背部电极设置在背部深埋p阱下方；所述的高阻n型衬底设置在背部深埋p阱上方，n+探测阱和埋p阱设置在高阻n型衬底上方，所述的低阻硅层与高阻n型衬底由埋氧层隔开；所述的n+探测阱和埋p阱由埋氧层隔开；埋氧层设置在n+探测阱和埋p阱上方；埋p阱引出电极与埋p阱连接，n+探测阱读出电极与n+探测阱连接。