[发明专利]一种旋转贴片头机构有效

专利信息
申请号: 201910059882.1 申请日: 2019-01-22
公开(公告)号: CN109588039B 公开(公告)日: 2020-11-17
发明(设计)人: 袁晓春;高泽;周丹;王军帅;霍杰;崔洁;郎平 申请(专利权)人: 北京中电科电子装备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;胡影
地址: 100176 北京市经*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种旋转贴片头机构,包括:设有多个可伸缩移动的吸嘴的旋转头;与旋转头相连的驱动电机且驱动电机能够驱动旋转头旋转;用于获取吸嘴上晶圆芯片的第一图像的第一识别相机,第一图像用于获取晶圆芯片的第一位置信息;用于获取工作台上晶圆芯片的待贴装位置的第二图像的第二识别相机,第二图像用于获取待贴装位置的第二位置信息;顶起结构,顶起结构邻近旋转头设置且顶起结构能够驱动吸嘴伸缩移动;缓冲板,缓冲板与顶起结构相连,吸嘴旋转到顶起结构相应位置时缓冲板能止抵吸嘴,顶起结构能够驱动缓冲板以驱动吸嘴伸缩移动。本发明的旋转贴片头机构,能避免顶起结构顶起吸嘴时不稳定,使得拾取与贴装运动平稳,保证拾取或贴装精度。
搜索关键词: 一种 旋转 片头 机构
【主权项】:
1.一种旋转贴片头机构,其特征在于,包括:旋转头,所述旋转头上设有多个可伸缩移动的吸嘴;驱动电机,所述旋转头与所述驱动电机相连且所述驱动电机能够驱动所述旋转头旋转;第一识别相机,所述第一识别相机邻近所述旋转头设置,所述第一识别相机用于获取所述吸嘴上晶圆芯片的第一图像,所述第一图像用于获取晶圆芯片的第一位置信息;第二识别相机,所述第二识别相机用于获取工作台上所述晶圆芯片的待贴装位置的第二图像,所述第二图像用于获取待贴装位置的第二位置信息;顶起结构,所述顶起结构邻近所述旋转头设置且所述顶起结构能够驱动所述吸嘴伸缩移动;缓冲板,所述缓冲板与所述顶起结构相连,且所述吸嘴旋转到所述顶起结构相应位置时所述缓冲板能够止抵所述吸嘴,所述顶起结构能够驱动所述缓冲板以驱动所述吸嘴伸缩移动。
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