[发明专利]薄膜太阳能电池吸收层的制备方法及镀膜设备在审
| 申请号： | 201910048441.1 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN111455320A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 辛科;杨立红 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/06;H01L31/032;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 刘昕;南霆 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了薄膜太阳能电池吸收层的制备方法及镀膜设备，该方法包括：调节沉积吸收层的沉积腔室内的压力达到预设压力阈值；对已形成有背电极层的衬底进行加热，调节衬底的温度达到预设沉积温度阈值；调节金属源的加热功率达到第一预设功率阈值，或沉积速率达到第一预设沉积速率阈值；调节非金属源的加热功率达到第二预设功率阈值或沉积速率达到第二预设沉积速率阈值；根据沉积腔室的压力、衬底的温度、金属源以及非金属源的加热功率或沉积速率，在背电极层表面沉积预设厚度的吸收层。本申请通过控制金属和非金属在衬底上沉积的量，提高薄膜太阳能电池吸收层薄膜的均匀性，提高结晶性能和导电性能，从而提高薄膜太阳能电池的转换效率和功率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 太阳能电池 吸收 制备 方法 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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