[发明专利]一种环状补偿膜应力补偿晶体谐振器

摘要

本发明涉及一种晶体谐振器，特别是一种环状补偿膜应力补偿晶体谐振器，其特征是：至少包括：晶体、晶体中心电极，沿晶体中心电极两边有延伸层，两边延伸层为对称结构，两边延伸层至晶体边沿，两边延伸层至晶体边沿形成两个扇形面，两个扇形面的中心线与两边延伸层中心线重合，在沿晶体中心电极至两边延伸层的上下面有对称的四块补偿膜，四块补偿膜通过真空镀膜附着于晶体片边缘，并与晶体中心电极形成第一间隙，上两块补偿膜和下两块补偿膜上下对称；上下各两块补偿膜左右对称；晶体工作时，用晶体的力频特性补偿晶体的温频特性进行稳频。它提供一种结构简单，体积小，功耗低、成本低和稳定度高的环状补偿膜应力补偿晶体谐振器。

主权项

1.一种环状补偿膜应力补偿晶体谐振器，其特征是：至少包括：晶体（1）、晶体中心电极（2），沿晶体中心电极（2）两边有延伸层（3），两边延伸层（3）为对称结构，两边延伸层（3）至晶体（1）边沿，两边延伸层（3）至晶体（1）边沿形成两个扇形面（4），两个扇形面的中心线（5）与两边延伸层（3）中心线重合，在沿晶体中心电极（2）至两边延伸层（3）的上下面有对称的四块补偿膜（8），四块补偿膜（8）通过真空镀膜附着于晶体片边缘，并与晶体中心电极（2）形成第一间隙（6），上两块补偿膜（8）和下两块补偿膜（8）上下对称；上下各两块补偿膜（8）左右对称；晶体（1）工作时，用晶体（1）的力频特性补偿晶体（1）的温频特性进行稳频。