[发明专利]一种稀土金属旋转靶材及其制造方法在审
| 申请号： | 201910041197.6 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN109536909A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 肖世洪;雷雨;周志宏;肖世文;沈艳斌;周昭寅 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F3/04;B22F3/10 |
| 代理公司： | 佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) 44387 | 代理人： | 颜德昊 |
| 地址： | 510800 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种稀土金属旋转靶材及其制备方法，该稀土金属选择靶材的制备包括：S1、制备平均粒径D50为10‑80μm的稀土金属粉末；S2、将稀土金属粉末装入模具中；S3、将模具放入冷等静压机内压制成型，得到素胚；S4、将素胚放入烧结炉中烧结，烧结温度为800‑1400℃，保温时间10‑80小时；S5、对烧结好的靶材毛坯进行机加工成所需要的尺寸和精度，加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。本发明公开的稀土金属旋转靶材的制备方法工艺简单、耗能少、易于规模化生产，制备得到的稀土旋转靶材质量好，具体体现在密度高、无裂纹孔隙、良品率高、成本低，提高钕铁硼永磁材料的矫顽力。 | ||
| 搜索关键词： | 稀土金属 旋转靶材 制备 烧结 靶材 稀土金属粉末 放入 素胚 模具 钕铁硼永磁材料 制备方法工艺 规模化生产 冷等静压机 金属圆管 平均粒径 机加工 矫顽力 良品率 烧结炉 毛坯 绑定 耗能 装入 保温 稀土 加工 制造 | ||
【主权项】：
1.一种稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、制备平均粒径D50为10‑80μm的稀土金属粉末；S2、将稀土金属粉末装入冷等静压管状柔性模具中；S3、将柔性模具放入冷等静压机内压制成型，得到素胚；S4、将压制好的素胚放入真空烧结炉或惰性气体保护的烧结炉中烧结，烧结温度为800‑1400℃，保温时间10‑80小时；S5、对烧结好的靶材毛坯进行机加工成所需要的尺寸和精度，加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。
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