[发明专利]一种氮化物发光二极管在审
申请号: | 201910033852.3 | 申请日: | 2019-01-15 |
公开(公告)号: | CN109768131A | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 顾伟 | 申请(专利权)人: | 江西兆驰半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 330000 江西省南昌市南昌高新技*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种氮化物发光二极管,包括衬底,以及依次位于衬底上的缓冲层、非掺杂氮化物层、n型氮化物层、有源层和p型氮化物层,其中:所述n型氮化物层与有源层之间还设置有含硅原子和碳原子的掺杂调变层,所述掺杂调变层至少包括依次位于n型氮化物层上的第一调变层、第二调变层、以及第三调变层。本发明的优点在于:本发明在氮化物发光二极管的n型氮化物层与有源层之间设置有含硅原子和碳原子的掺杂调变层,经由调整硅原子和碳原子在掺杂调变层中的浓度分布,可降低n型氮化物层向有源层提供电子的数量和速度,缓解氮化物发光二极管工作时,有源层中电子和空穴分布不均匀与电子容易溢流出有源层的问题。 | ||
搜索关键词: | 调变层 源层 氮化物发光二极管 硅原子 碳原子 掺杂 衬底 非掺杂氮化物层 空穴 浓度分布 不均匀 缓冲层 流出 缓解 | ||
【主权项】:
1.一种氮化物发光二极管,包括衬底,以及依次位于衬底上的缓冲层、非掺杂氮化物层、n型氮化物层、有源层和p型氮化物层,其特征在于:所述n型氮化物层与有源层之间还设置有含硅原子和碳原子的掺杂调变层,所述掺杂调变层至少包括依次位于n型氮化物层上的第一调变层、第二调变层、以及第三调变层;所述n型氮化物层中的硅原子浓度大于所述第二调变层中的硅原子浓度;所述第二调变层中的硅原子浓度大于所述第三调变层中的硅原子浓度的三倍;所述第三调变层中的硅原子浓度大于所述第一调变层中的硅原子浓度;所述第三调变层中的碳原子浓度大于所述第二调变层中的碳原子浓度;所述第二调变层中的碳原子浓度大于所述第一调变层中的碳原子浓度的三倍。
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