[发明专利]一种放置硅片的花篮装置有效
申请号: | 201910032982.5 | 申请日: | 2019-01-14 |
公开(公告)号: | CN109768007B | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 徐昆;白玉磐;黄明 | 申请(专利权)人: | 江西展宇新能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本申请公开了一种放置硅片的花篮装置,包括带有轮齿的侧杆、底杆、带有轮齿的压杆、相对设置的支撑台柱,底杆的两端分别连接在支撑台柱的底端,侧杆的两端分别连接在支撑台柱横向的两端,且位于底杆的上方,压杆位于支撑台柱的顶端,侧杆上的轮齿为带有通孔的轮齿,以供硅片置于相邻的带有通孔的轮齿之间。本申请中的花篮装置,侧杆上的轮齿为带有通孔的轮齿,当放有硅片的花篮装置放入药槽中后,药槽中的药液可以通过轮齿上的通孔进行流动,增加药液与硅片的接触面积,加快药液与硅片表面对应轮齿区域的反应速率,有效解决硅片表面产生亮斑的问题,即可以有效解决花篮印的产生,提升硅片表面的质量,进而提高制成的电池片外观的美观度。 | ||
搜索关键词: | 一种 放置 硅片 花篮 装置 | ||
【主权项】:
1.一种放置硅片的花篮装置,其特征在于,包括带有轮齿的侧杆、底杆、带有轮齿的压杆、相对设置的支撑台柱,所述底杆的两端分别连接在所述支撑台柱的底端,所述侧杆的两端分别连接在所述支撑台柱横向的两端,且位于所述底杆的上方,所述压杆位于所述支撑台柱的顶端,所述侧杆上的轮齿为带有通孔的轮齿,以供硅片置于相邻的所述带有通孔的轮齿之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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