[发明专利]被加工物的激光加工方法有效
| 申请号： | 201910018345.2 | 申请日： | 2019-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN110039204B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 桐原直俊;武田昇;桐林幸弘;森数洋司;荒川太朗 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;B23K26/0622 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供被加工物的激光加工方法，即使是较厚的被加工物也能够保证良好的分割性并且能够高效地进行分割。该方法包含如下步骤：第1盾构隧道形成步骤，将对于被加工物具有透过性的波长的脉冲激光束的聚光区域定位于被加工物的内部并沿着分割预定线进行照射，从而沿着该分割预定线形成由细孔和围绕该细孔的非晶质构成的多个盾构隧道；聚光区域位置变更步骤，在该被加工物的厚度方向上变更向该被加工物照射的脉冲激光束的聚光区域的位置；以及第2盾构隧道形成步骤，将对于被加工物具有透过性的波长的脉冲激光束的聚光区域定位于被加工物的内部并沿着分割预定线进行照射，从而沿着该脉冲激光束的入射方向以与该第1盾构隧道并排的方式形成第2盾构隧道。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 激光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种被加工物的激光加工方法，沿着分割预定线对板状的被加工物进行分割，其特征在于，该被加工物的激光加工方法具有如下的步骤：第1盾构隧道形成步骤，将对于被加工物具有透过性的波长的脉冲激光束的聚光区域定位于被加工物的内部并沿着该分割预定线照射该脉冲激光束，从而沿着该分割预定线形成由细孔和围绕该细孔的非晶质构成的多个盾构隧道；聚光区域位置变更步骤，在实施了该第1盾构隧道形成步骤之后，在该被加工物的厚度方向上变更向该被加工物照射的脉冲激光束的聚光区域的位置；以及第2盾构隧道形成步骤，在实施了该聚光区域位置变更步骤之后，将对于被加工物具有透过性的波长的脉冲激光束的聚光区域定位于被加工物的内部并沿着该分割预定线照射该脉冲激光束，从而沿着该脉冲激光束的入射方向以与该第1盾构隧道并排的方式形成第2盾构隧道，反复进行该聚光区域位置变更步骤和该第2盾构隧道形成步骤直至该第1盾构隧道的长度与该第2盾构隧道的长度相加而得的长度与被加工物的厚度大致相等。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科，未经株式会社迪思科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910018345.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
