[发明专利]被加工物的激光加工方法

权利要求书

1.一种被加工物的激光加工方法，沿着分割预定线对板状的被加工物进行分割，其特征在于，

该被加工物的激光加工方法具有如下的步骤：

第1盾构隧道形成步骤，将对于被加工物具有透过性的波长的脉冲激光束的聚光区域定位于被加工物的内部并沿着该分割预定线照射该脉冲激光束，从而沿着该分割预定线形成由细孔和围绕该细孔的非晶质构成的多个第1盾构隧道；

聚光区域位置变更步骤，在实施了该第1盾构隧道形成步骤之后，在该被加工物的厚度方向上变更向该被加工物照射的脉冲激光束的聚光区域的位置；以及

第2盾构隧道形成步骤，在实施了该聚光区域位置变更步骤之后，将对于被加工物具有透过性的波长的脉冲激光束的聚光区域定位于被加工物的内部并沿着该分割预定线照射该脉冲激光束，从而沿着该脉冲激光束的入射方向以与该第1盾构隧道并排的方式形成第2盾构隧道，

反复进行该聚光区域位置变更步骤和该第2盾构隧道形成步骤直至该第1盾构隧道的长度与该第2盾构隧道的长度相加而得的长度与被加工物的厚度大致相等，

通过该第1盾构隧道形成步骤形成的该第1盾构隧道的一端在该被加工物的形成器件的表面露出，

在被加工物的厚度方向上排列形成的该第1盾构隧道和该第2盾构隧道在脉冲激光束的入射方向上重叠，并且该重叠的量为20μm以下。

2.根据权利要求1所述的被加工物的激光加工方法，其特征在于，

通过该第1盾构隧道形成步骤形成的该第1盾构隧道的一端在该被加工物的正面或背面的任意一方露出。