[发明专利]一种手机摄像头镜片镀AR膜工艺

摘要

本发明涉及一种手机摄像头镜片镀AR膜工艺，包括如下步骤：核对镜片基材数量并进行来料抽检；将抽检合格的镜片基材进行超声波清洗；将镜片基材摆放在电镀治具上；将电镀治具放在真空溅射镀膜设备的滚筒内，利用真空溅射镀膜在镜片基材表面镀AR膜；步骤十、抽检并出料，利用电场使带电气体离子加速撞击靶材，使靶材表面的镀膜材料分子或原子脱离并飞向镜片基材，累积到一定厚度就会形成薄膜，工艺简单，膜层质量好，可控性高，重复生产稳定性好，膜层硬度高。

主权项

1.一种手机摄像头镜片镀AR膜工艺，其特征在于：包括如下步骤：步骤一、核对镜片基材数量并进行来料抽检；步骤二、将抽检合格的镜片基材进行超声波清洗；步骤三、将步骤二的镜片基材摆放在电镀治具上；步骤四、将电镀治具放在真空溅射镀膜设备的滚筒内，在真空环境内保持高速旋转；步骤五、在激化源处充入一定流量的O2、N2或Ar气体；步骤六、在靶材正面充入一定流量的惰性气体，给靶材背部施加负极高压电，使惰性气体产生辉光放电现象，产生带电气体离子；步骤七、带电气体离子经电场加速后撞击靶材表面，靶材上的镀膜材料分子或原子被撞击而飞出，并同时得到二次电子，再撞击气体原子从而得到更多的带电气体离子，并在靶材表面形成稳定的等子离体；步骤八、被撞飞的镀膜材料分子或原子飞向电镀治具上的镜片基材，累积到一定厚度就形成AR薄膜；步骤九、取出电镀治具，将完成镀膜的镜片基材取下并装盒；步骤十、抽检并出料。