[发明专利]一种手机摄像头镜片镀AR膜工艺

权利要求书

1.一种手机摄像头镜片镀AR膜工艺，其特征在于：包括如下步骤：

步骤一、核对镜片基材数量并进行来料抽检；

步骤二、将抽检合格的镜片基材进行超声波清洗；

步骤三、将步骤二的镜片基材摆放在电镀治具上；

步骤四、将电镀治具放在真空溅射镀膜设备的滚筒内，在真空环境内保持高速旋转；

步骤五、在激化源处充入一定流量的O2、N2或Ar气体；

步骤六、在靶材正面充入一定流量的惰性气体，给靶材背部施加负极高压电，使惰性气体产生辉光放电现象，产生带电气体离子；

步骤七、带电气体离子经电场加速后撞击靶材表面，靶材上的镀膜材料分子或原子被撞击而飞出，并同时得到二次电子，再撞击气体原子从而得到更多的带电气体离子，并在靶材表面形成稳定的等子离体；

步骤八、被撞飞的镀膜材料分子或原子飞向电镀治具上的镜片基材，累积到一定厚度就形成AR薄膜；

步骤九、取出电镀治具，将完成镀膜的镜片基材取下并装盒；

步骤十、抽检并出料。

2.根据权利要求1所述的一种手机摄像头镜片镀AR膜工艺，其特征在于：在步骤四中，旋转的速度为100RPM。

3.根据权利要求1所述的一种手机摄像头镜片镀AR膜工艺，其特征在于：在步骤六中，所述惰性气体为氩气。

4.根据权利要求1所述的一种手机摄像头镜片镀AR膜工艺，其特征在于：在步骤八中，通过控制靶材功率和镀膜时间来控制AR薄膜的厚度。

5.根据权利要求1所述的一种手机摄像头镜片镀AR膜工艺，其特征在于：所述激化源是将O2、N2、Ar等气体分解成对应的气体原子并发射出去的反应装置。

6.一种手机摄像头镜片镀AR膜工艺，其特征在于：包括如下步骤：

步骤一、核对镜片基材数量并进行来料抽检；

步骤二、清洗抽检合格的镜片基材并摆放在电镀治具上；

步骤三、将电镀治具安装在真空蒸发镀膜设备的伞架上，伞架在真空环境内旋转；

步骤四、给电阻加热器两端通以低压电流；

步骤五、电阻片通电后发热，使球体升温，AR材料汽化脱离球体溢出飞向镜片基材，冷凝后形成固态膜层覆盖在镜片基材表面；

步骤六、取出电镀治具，将镜片基材取下并装盒；

步骤七；抽检并出料。

7.根据权利要6所述的一种手机摄像头镜片镀AR膜工艺，其特征在于：在步骤三中，伞架的转速为20-30RPM。