[发明专利]扫描探针显微镜有效
| 申请号： | 201910001318.4 | 申请日： | 2019-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN110082566B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 岩佐真行;鹿仓良晃;工藤慎也;上野利浩 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01Q30/04 | 分类号： | G01Q30/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙明浩;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供扫描探针显微镜，可选择性地显示或一同显示测定数据及其差分数据的分布像，能够得到边缘强调像并且提高了用户的便利性。扫描探针显微镜(200)具有悬臂(1)和检测表示悬臂的位移的信号的位移检测器(5)，取得在使探针(99)沿着试样(300)的表面相对地扫描时所获取的测定数据，该扫描探针显微镜(200)还具有：分布像计算单元(40a)，其计算测定数据的一维或二维的第一分布像(201)和测定数据的相邻的数据的差分数据的一维或二维的第二分布像(202)；以及显示控制单元(40b)，其指示分布像计算单元计算第一分布像和第二分布像中的任意一方或双方，并且使规定的显示单元显示所计算出的分布像。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种扫描探针显微镜，其具有：悬臂，其设置有接触或接近试样的表面的探针；以及位移检测器，其检测表示所述悬臂的位移的信号，该扫描探针显微镜取得一边根据所述信号将所述悬臂与所述试样的表面之间的规定的物理量维持恒定一边使所述探针沿着所述试样的表面相对地扫描时所获取的测定数据，其特征在于，该扫描探针显微镜还具有：分布像计算单元，其计算所述测定数据的一维或二维的第一分布像和所述测定数据的相邻的数据的差分数据的一维或二维的第二分布像；以及显示控制单元，其指示所述分布像计算单元计算所述第一分布像和所述第二分布像中的任意一方或双方，并且使规定的显示单元显示所计算出的该分布像。
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