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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]扫描探针显微镜-CN201910001318.4有效
发明人：岩佐真行;鹿仓良晃;工藤慎也;上野利浩 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2019-01-02 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01Q30/04 文献下载
摘要：提供扫描探针显微镜，可选择性地显示或一同显示测定数据及其差分数据的分布像，能够得到边缘强调像并且提高了用户的便利性。扫描探针显微镜(200)具有悬臂(1)和检测表示悬臂的位移的信号的位移检测器(5)，取得在使探针(99)沿着试样(300)的表面相对地扫描时所获取的测定数据，该扫描探针显微镜(200)还具有：分布像计算单元(40a)，其计算测定数据的一维或二维的第一分布像(201)和测定数据的相邻的数据的差分数据的一维或二维的第二分布像(202)；以及显示控制单元(40b)，其指示分布像计算单元计算第一分布像和第二分布像中的任意一方或双方，并且使规定的显示单元显示所计算出的分布像。
扫描探针显微镜

[发明专利]扫描型探针显微镜以及设定方法-CN202110284276.7在审
发明人：繁野雅次;山本浩令;鹿仓良晃;比嘉邦人 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明提供扫描型探针显微镜以及设定方法。提供有助于测定时间的缩短的扫描型探针显微镜以及设定方法。扫描型探针显微镜具备：移动驱动部，其使所述悬臂与所述试样至少能够在Z方向上相对地进行移动；以及控制装置，其通过对所述移动驱动部进行控制而执行使所述悬臂与所述试样以规定的速度接近的接近动作，并在判定为所述探针和所述试样已接触的情况下，使所述接近动作停止，所述规定的速度被设定为，在执行了使所述接近动作停止的控制时，因所述探针与所述试样的接触而对所述试样施加的力不超过预先设定的第1力。
扫描探针显微镜以及设定方法

[发明专利]悬臂的振动特性测定方法以及悬臂的振动特性测定装置-CN201510110234.6有效
发明人：繁野雅次;鹿仓良晃 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2015-03-13 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G01Q20/02 文献下载
摘要：本发明提供悬臂的振动特性测定方法以及悬臂的振动特性测定装置，不依据Q曲线的测定条件就能够高精度地测定扫描型探针显微镜的悬臂的振动特性即Q值。该悬臂的振动特性测定方法测定对扫描型探针显微镜(200)的悬臂(1)施加谐振频率f1(Hz)的振动时的该悬臂的振动振幅V，求出振动振幅V成为稳定振幅V0的0.90以上时的时间Th(秒)，利用下式1来算出Q值：Q值＝f1×Th (1)。
悬臂振动特性探针显微镜测定装置振动振幅扫描型测定条件稳定振幅谐振频率施加

[发明专利]悬臂的振动特性测定方法-CN201210080424.4有效
发明人：繁野雅次;鹿仓良晃 -专利权人：精工电子纳米科技有限公司
申请日： 2012-03-23 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： G01Q40/00 文献下载
摘要：悬臂的频率/振动特性检测需要长时间，由此，存在设定测定条件时产生误差的问题。并且，可能产生一次谐振频率的检测错误。为此，本发明提供一种悬臂的振动特性测定方法，其特征在于，由施振信号发生器在包含悬臂的谐振频率的范围的频带中发生往复的高速扫频信号，使悬臂振动，计测去路和回路各自的振幅最大值的频率，检测其中间值作为悬臂的谐振频率。进而，通过在检测一次谐振频率时确认是否存在6.3倍的二次谐振频率，能够将谐振频率的检测错误防患于未然。
悬臂振动特性测定方法

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共 4 条

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