[发明专利]臭氧供给装置及臭氧供给方法有效
| 申请号： | 201880089807.3 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN112203974B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 松浦洋航;和田升;生沼学 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | C01B13/10 | 分类号： | C01B13/10 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 进行使吸附解吸塔(4)的第一吸附解吸区域(5a)及第二吸附解吸区域(5b)吸附在臭氧产生部(2)中产生的臭氧化气体的吸附动作、使臭氧化气体从第一吸附解吸区域(5a)解吸并由第二吸附解吸区域(5b)吸附而回收的浓缩动作以及一边输送来自原料气体源(1a)的原料气体一边使利用第二吸附解吸区域(5a)回收的臭氧化气体解吸并从第一吸附解吸区域(5a)供给到吸附解吸塔(4)的外部的供给动作。 | ||
| 搜索关键词： | 臭氧 供给 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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