[发明专利]臭氧供给装置及臭氧供给方法

说明书

进行使吸附解吸塔(4)的第一吸附解吸区域(5a)及第二吸附解吸区域(5b)吸附在臭氧产生部(2)中产生的臭氧化气体的吸附动作、使臭氧化气体从第一吸附解吸区域(5a)解吸并由第二吸附解吸区域(5b)吸附而回收的浓缩动作以及一边输送来自原料气体源(1a)的原料气体一边使利用第二吸附解吸区域(5a)回收的臭氧化气体解吸并从第一吸附解吸区域(5a)供给到吸附解吸塔(4)的外部的供给动作。

技术领域

本申请涉及利用吸附现象浓缩并供给臭氧的臭氧供给装置及臭氧供给方法。

背景技术

臭氧作为强力的氧化剂在水环境净化、半导体清洗等多种领域中被利用，由于近年来环境意识的高涨，对高浓度且高效率的臭氧产生技术的要求变高。由于臭氧产生部单体的产生臭氧浓度的上限值为体积分率20％左右，且臭氧具有自分解的性质，所以常温下的气相保管是困难的。

因此，提供了根据需要间歇地产生臭氧的臭氧供给装置。作为这种臭氧供给装置，在现有技术中，公开了利用吸附现象进行臭氧的储藏及浓缩并间歇地供给高浓度的臭氧化气体的装置。在该情况下，为了使储藏的臭氧解吸，提出了使吸附解吸塔减压的方法(例如下述的专利文献1)、将氧输送到吸附解吸塔并进行气体置换的方法(例如下述的专利文献2)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-43310号公报

专利文献2：日本专利第5020151号

发明内容

发明要解决的课题

但是，在上述专利文献1公开的结构中，虽然通过在臭氧解吸时始终使吸附解吸塔持续减压，从而解吸的臭氧的浓度上升，但是由于解吸的臭氧的流量持续降低，所以不能够稳定地供给高浓度的臭氧气体。另外，在上述专利文献2公开的结构中，存在如下问题：在臭氧供给的最后阶段，由于氧输送而导致吸附解吸塔内的臭氧分压大幅降低，所以不能将解吸的臭氧气体维持在规定浓度，不能够稳定地供给高浓度的臭氧气体。

本申请公开用于解决上述那样的课题的技术，其目的在于提供抑制在臭氧供给的最后阶段解吸的臭氧的浓度降低，并实现稳定的高浓度的臭氧化气体的供给的臭氧供给装置及臭氧供给方法。

用于解决课题的手段

本申请公开的臭氧供给装置具备臭氧产生部和臭氧浓缩部，所述臭氧产生部利用从原料气体源供给的原料气体产生臭氧，所述臭氧浓缩部具有由第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域构成的两个区域，所述第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域利用吸附剂吸附解吸在所述臭氧产生部中产生的包含臭氧的臭氧化气体，所述臭氧供给装置具备用于分别选择性地形成吸附动作用气体回路、浓缩动作用气体回路以及供给动作用气体回路的气体回路形成用的回路切换器，所述吸附动作用气体回路使所述第一吸附解吸区域和所述第二吸附解吸区域中的至少所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附在所述臭氧产生部中产生的臭氧化气体，所述浓缩动作用气体回路使由所述臭氧浓缩部的所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附的臭氧化气体解吸并由所述第二吸附解吸区域的吸附剂吸附而回收，所述供给动作用气体回路一边输送来自所述原料气体源的原料气体一边使利用所述第二吸附解吸区域的吸附剂回收的臭氧化气体解吸，并使该解吸的臭氧化气体经由所述第一吸附解吸区域输出到所述臭氧浓缩部的外部。