[发明专利]臭氧供给装置及臭氧供给方法

权利要求书

1.一种臭氧供给装置，其中，

所述臭氧供给装置具备臭氧产生部和臭氧浓缩部，所述臭氧产生部利用从原料气体源供给的原料气体产生臭氧，所述臭氧浓缩部具有由第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域构成的两个区域，所述第一吸附解吸区域及第二吸附解吸区域利用吸附剂吸附解吸在所述臭氧产生部中产生的包含臭氧的臭氧化气体，

所述臭氧供给装置具备用于分别形成吸附动作用气体回路、浓缩动作用气体回路以及供给动作用气体回路的气体回路形成用的回路切换器，所述吸附动作用气体回路使所述第一吸附解吸区域和所述第二吸附解吸区域中的至少所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附在所述臭氧产生部中产生的臭氧化气体，所述浓缩动作用气体回路使由所述臭氧浓缩部的所述第一吸附解吸区域的吸附剂吸附的臭氧化气体解吸并由所述第二吸附解吸区域的吸附剂吸附而回收，所述供给动作用气体回路一边输送来自所述原料气体源的原料气体一边使利用所述第二吸附解吸区域的吸附剂回收的臭氧化气体解吸，并使该解吸的臭氧化气体经由所述第一吸附解吸区域供给到所述臭氧浓缩部的外部。

2.根据权利要求1所述的臭氧供给装置，其中，

所述臭氧供给装置具备自动地控制所述回路切换器的切换动作的控制部。

3.根据权利要求2所述的臭氧供给装置，其中，

在所述臭氧浓缩部与所述臭氧产生部之间设置有升压鼓风机，所述升压鼓风机用于将在通过所述回路切换器的回路切换形成所述吸附动作用气体回路的情况下从所述臭氧浓缩部漏出的臭氧化气体导入所述臭氧产生部。

4.根据权利要求2所述的臭氧供给装置，其中，

所述臭氧浓缩部具备设置有所述第一吸附解吸区域的第一吸附解吸塔和设置有所述第二吸附解吸区域的第二吸附解吸塔，所述第一吸附解吸塔与所述第二吸附解吸塔相互分离独立地设置。

5.根据权利要求3所述的臭氧供给装置，其中，

所述臭氧浓缩部具备设置有所述第一吸附解吸区域的第一吸附解吸塔和设置有所述第二吸附解吸区域的第二吸附解吸塔，所述第一吸附解吸塔与所述第二吸附解吸塔相互分离独立地设置。

6.根据权利要求4所述的臭氧供给装置，其中，

在所述第一吸附解吸塔及所述第二吸附解吸塔设置有内部温度调节用的温度调整部。

7.根据权利要求4所述的臭氧供给装置，其中，

所述臭氧供给装置构成为：在通过所述回路切换器的回路切换形成所述吸附动作用气体回路的情况下，在所述臭氧产生部中产生的臭氧化气体仅通过所述第一吸附解吸塔的所述第一吸附解吸区域。

8.根据权利要求4至权利要求7中任一项所述的臭氧供给装置，其中，

在连结所述第一吸附解吸塔与所述第二吸附解吸塔的气体回路上设置有臭氧计或压力计，在利用所述臭氧计测定出的臭氧化气体所包含的臭氧的浓度达到预先设定的基准值的情况下或者在利用所述压力计测定出的臭氧化气体的压力达到预先设定的基准值的情况下，所述控制部与此相应地控制所述回路切换器并从所述浓缩动作用气体回路向所述供给动作用气体回路的形成转移。

9.根据权利要求4至权利要求7中任一项所述的臭氧供给装置，其中，

所述臭氧供给装置构成为：在通过所述回路切换器的回路切换形成所述供给动作用气体回路的情况下，在从所述第二吸附解吸塔经由所述第一吸附解吸塔输送来自所述原料气体源的原料气体之前，仅输送到所述第一吸附解吸塔并将从所述第一吸附解吸区域解吸的臭氧化气体输出到外部。

10.根据权利要求9所述的臭氧供给装置，其中，

所述臭氧供给装置具备臭氧计，所述臭氧计测定从所述臭氧浓缩部向外部输出的臭氧化气体所包含的臭氧的浓度，在利用所述臭氧计测定出的臭氧浓度达到预先设定的基准值的情况下，所述控制部与此相应地控制所述回路切换器并使原料气体的输送从所述第一吸附解吸塔切换为所述第二吸附解吸塔。