[发明专利]通过实时控制静电夹钳中的静电电荷沉积来提供一致性静电夹持的方法在审
| 申请号： | 201880079015.8 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111448644A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·麦金太尔;威廉·雷诺兹 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 刘新宇;寿宁 |
| 地址： | 美国马萨诸*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出一种具有静电夹钳的静电夹钳监测系统，该静电夹钳配置成通过一个或多个电极选择性将工件静电夹持至与其相关联的夹持面。电源供应器电耦接至静电夹钳并配置成选择性以夹持频率向静电夹钳供给夹持电压。数据采集系统测量供给至一个或多个电极的电流，并且控制器取经测电流对时间的积分，以此确定与工件与静电夹钳间夹持力相关联的电荷值。控制器进一步配置成基于确定电荷值选择性更改夹持电压和夹持频率之中的一个或多个，由此保持工件与静电夹钳间的期望夹持力。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 实时 控制 静电 夹钳 中的 电荷 沉积 提供 一致性 夹持 方法 | ||
【主权项】：
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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